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1. (WO2002082506) SYSTEME D'EVAPORATION THERMIQUE EN CONTINU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082506    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/010725
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 04.04.2002
CIB :
C23C 14/56 (2006.01)
Déposants : WAFERMASTERS, INCORPORATED [US/US]; 246 East Gish Road San Jose, CA 95112 (US)
Inventeurs : YOO, Woo, Sik; (US)
Mandataire : LOPEZ, Theodore, P.; Skjerven Morrill Macpherson LLP 25 Metro Drive, Suite 700 San Jose, CA 95110 (US)
Données relatives à la priorité :
09/828,654 06.04.2001 US
Titre (EN) CONTINUOUS THERMAL EVAPORATION SYSTEM
(FR) SYSTEME D'EVAPORATION THERMIQUE EN CONTINU
Abrégé : front page image
(EN)A processing system and associated method for vacuum evaporation of material onto a substrate. The processing system includes a loading chamber, a transfer chamber, and a thermal processing chamber arranged together to form a cluster tool. The cluster tool arrangement provides the system a continuous processing capability. The system also includes an evacuation system arrangement for evacuating the processing system to adequate processing pressure levels. The evacuation system arrangement includes a series of pumps, which arecapable of maintaining the selected processing pressure levels for continuous thermal evaporation processing without the need for lowering the pressure to deep vacuum pressure levels.
(FR)La présente invention concerne un système de traitement et un procédé associé permettant l'évaporation sous vide d'une matière sur un substrat. Le système de traitement de l'invention comprend une chambre de chargement, une chambre de transfert et une chambre de traitement thermique agencées ensemble de façon qu'elles forment un bloc outil. L'agencement en bloc outil confère au système précité une fonctionnalité de traitement en continu. Le système comprend également un agencement de système d'évacuation qui permet d'évacuer le système de traitement jusqu'à ce que ce dernier atteigne des niveaux de pression de traitement adéquats. L'agencement de système d'évacuation comprend une série de pompes qui sont capables de maintenir les niveaux de pression de traitement choisis afin de permettre un traitement d'évaporation thermique en continu sans qu'il soit nécessaire de réduire la pression jusqu'à des niveaux de pression de vide poussé.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)