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1. (WO2002082188) PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER L'ALIGNEMENT D'UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082188    N° de la demande internationale :    PCT/IB2002/001103
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 08.04.2002
CIB :
G03F 9/00 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL)
Inventeurs : ZIGER, David; (NL)
Mandataire : COBBEN, Louis, M., H.; Internationaal Octrooibureau B.V., Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
09/826,839 06.04.2001 US
Titre (EN) SUBSTRATE ALIGNMENT
(FR) PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER L'ALIGNEMENT D'UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)A method for substrate alignment on a stepper comprises imposing predetermined corrections on each of a plurality of substrates, a different set of corrections for each substrate. The actual corrections occurring on the substrates are measured and mathematically processed to produce a matrix and a plurality of equations. The equations are resolved to provide correct corrections for accurate alignment.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant d'améliorer l'alignement d'un substrat sur un répétiteur et comportant l'apport de corrections prédéterminées sur chacun des différents substrats, soit d'un ensemble de corrections différent pour chaque substrat. Les corrections actuelles apportées aux substrats sont mesurées et traitées mathématiquement pour produire une matrice et une pluralité d'équations. La résolution des équations permet d'obtenir des corrections correctes pour un alignement précis.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)