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1. (WO2002082187) TRANSMISSION DU SIGNAL OPTIQUE DANS UN DISPOSITIF DE FORMATION D'IMAGE A FAISCEAU ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082187    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/007309
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 11.03.2002
CIB :
H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : SULLIVAN, Jeffrey; (US).
MANKOS, Marian; (US).
MURAY, Lawrence; (US).
FERNANDEZ, Andres; (US).
COYLE, Steven; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/832,276 09.04.2001 US
Titre (EN) OPTICAL SIGNAL TRANSMISSION FOR ELECTRON BEAM IMAGING APPARATUS
(FR) TRANSMISSION DU SIGNAL OPTIQUE DANS UN DISPOSITIF DE FORMATION D'IMAGE A FAISCEAU ELECTRONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam imaging apparatus capable of projecting an electron beam image on a substrate comprises a vacuum chamber having a wall and a substrate support. An electron beam source, modulator, and scanner is provided to generate, modulate, and scan one or more electron beams across the substrate. A controller is capable of generating or receiving an electrical signal to communicate with the electron beam source, modulator or scanner. One or more signal convertors are capable of converting the electrical signal to an optical signal and vice versa, the signal convertors located on either side of the wall. An optical signal carrier is capable of transmitting the optical signal through the wall of the chamber.
(FR)L'invention concerne un dispositif de formation d'image à faisceau électronique capables de projeter une image par faisceau électronique sur un substrat. Ce dispositif comprend une chambre à vide est dotée d'une paroi et d'un support de substrat. Une source de faisceau électronique, un modulateur et un dispositif de balayage permettent de générer, de moduler et de balayer un ou plusieurs faisceaux électroniques sur la surface du substrat. Une unité de commande est capable de générer ou de recevoir un signal électrique afin de communiquer avec les source des faisceaux électroniques, le modulateur ou le dispositif de balayage. Un ou plusieurs convertisseurs de signal permettent de convertir le signal électrique en un signal optique et vice versa, et sont placés de chaque côté de la paroi. Un transporteur optique permet la transmission du signal optique à travers la paroi de la chambre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)