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1. (WO2002082062) MESURE DE LA REFLEXION SPECULAIRE D'UN ECHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082062    N° de la demande internationale :    PCT/AU2002/000385
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 28.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.10.2002    
CIB :
G01N 21/55 (2006.01)
Déposants : VARIAN AUSTRALIA PTY LTD [AU/AU]; 679 Springvale Road, Mulgrave, Victoria 3170 (AU) (Tous Sauf US).
HAMMER, Michael, Ron [AU/AU]; (AU) (US Seulement).
FRANCIS, Robert, John [AU/AU]; (AU) (US Seulement)
Inventeurs : HAMMER, Michael, Ron; (AU).
FRANCIS, Robert, John; (AU)
Mandataire : PHILLIPS ORMONDE & FITZPATRICK; 367 Collins Street, Melbourne, Victoria 3000 (AU)
Données relatives à la priorité :
PR 4202 04.04.2001 AU
Titre (EN) MEASURING SPECULAR REFLECTANCE OF A SAMPLE
(FR) MESURE DE LA REFLEXION SPECULAIRE D'UN ECHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus (10) for measuring absolute specular reflectance of a surface of a sample (22) includes a sample holder (12), a light source (18) for transmitting an incident light beam (16) onto a surface of the sample (22) and a detector (26) for detecting a specularly reflected component of the incident light. The light source (18), sample holder (12) and detector (26) are mounted and operatively associate (14, 24, 28) to be relatively moveable to vary the angle of incidence of light (16) onto sample (22) and to correspondingly automatically vary the relative position of the detector (26) such that the angle of reflection equals the angle of incidence. In the absence of the sample (22) or upon removal of the sample holder (12), light (16) impinges directly onto detector (26) to directly allow measurement of the absolute intensity of the light beam (16) as a reference measurement. This avoids the need to use intervening optical components such as mirrors which may degrade over time. It also allows provision of a relatively simplified apparatus.
(FR)L'invention concerne un appareil (10) servant à mesurer la réflexion spéculaire absolue d'une surface d'un échantillon (22). Cet appareil comprend un porte-échantillon (12), une source lumineuse (18) émettant un faisceau de lumière incidente (16) sur une surface de cet échantillon (22) et un détecteur (26) conçu pour détecter un composant spéculairement réfléchi de la lumière incidente. La source lumineuse (18), le porte-échantillon (12) et le détecteur (26) sont montés et associés (14, 24, 28) de manière fonctionnelle et mobile les uns par rapport aux autres, de façon à permettre une variation de l'angle d'incidence de la lumière (16) sur l'échantillon (22) et, de manière correspondante, une variation automatique de la position relative du détecteur (26), de sorte que l'angle de réflexion est égal à l'angle d'incidence. En l'absence de cet échantillon (22) ou lorsque le porte-échantillon (12) est retiré, la lumière (16) heurte directement le détecteur (26) pour permettre directement la mesure de l'intensité absolue du faisceau lumineux (16) comme mesure de référence. L'utilisation de composants optiques intermédiaires, tels que des miroirs risquant de se détériorer avec le temps, devient ainsi inutile. De plus, on obtient un appareil relativement simplifié.
États désignés : AU, CN, JP, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (DE, FR, GB).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)