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1. (WO2002082007) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082007    N° de la demande internationale :    PCT/DE2002/000967
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 16.03.2002
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
LINDNER, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : LINDNER, Michael; (DE)
Données relatives à la priorité :
101 17 658.9 09.04.2001 DE
101 23 844.4 16.05.2001 DE
Titre (DE) INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche oder Grenzfläche eines Messobjektse (o). Ein Einfluss von Erschütterungen auf das Messergebnis wird dadurch unterbunden, dass eine Verbindungseinheit (VE) vorgesehen ist, mit der zumindest ein dem Messobjekt (O) zugeordneter Abschnitt der Messvorrichtung mit dem Messobjekt (O) unmittelbar mechanisch starr und lösbar verbindbar ist.
(EN)The invention relates to an interferometric measuring device for measuring the surface or boundary surface of an object of measurement (O). The aim of the invention is to prevent vibrations from influencing the result of measurement. To this end, a connecting unit (VE) is provided which directly links, in a mechanically rigid and detachable manner, the object of measurement (O) with at least one section of the measuring device associated with the object of measurement (O).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure interférométrique pour la mesure d'une surface ou d'une surface limite d'un objet de mesure (O). L'invention vise à inhiber l'influence de secousses sur le résultat de mesure. A cet effet, une unité de raccordement (VE) sert à raccorder à l'objet de mesure (O), directement et de manière détachable et mécaniquement rigide, au moins une section du dispositif de mesure affectée à l'objet de mesure (O).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)