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1. (WO2002081107) CUVE DE TRAITEMENT PAR VOIE HUMIDE 'NEXTGEN''
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/081107    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/011149
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 08.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.11.2002    
CIB :
B08B 3/12 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : AKRION LLC [US/US]; 6330 Hedgewood Dr. #150 Allentown, PA 18106 (US)
Inventeurs : KASHKOUSH, Ismail I.; (US).
NOVAK, Richard E.; (US).
MANCUSO, Tom; (US).
VADIMSKY, Jim; (US)
Mandataire : FEIN, Michael; Cozen O'Connor The Atrium 1900 Market St. Philadelphia, PA 19103 (US)
Données relatives à la priorité :
60/282,383 06.04.2001 US
Titre (EN) NEXTGEN WET PROCESS TANK
(FR) CUVE DE TRAITEMENT PAR VOIE HUMIDE 'NEXTGEN''
Abrégé : front page image
(EN)A process tank for processing a plurality of wafers having a diameter, the process tank comprising: two substantially vertical side walls being a first distance apart; wherein the first distance is substantially equal to the diameter of the wafer; two upwardly angled walls positioned between the side walls; a first transducer array coupled to a first of the upwardly angled walls, the first transducer array extending a length less than the diameter of the wafer; and a second transducer array coupled to a second of the upwardly angled walls, the second transducer array extending a length less than the diameter of the wafer. It is preferred that the process tank further comprise a fluid inlet positioned between the upwardly angled walls. In another aspect, the invention is a method of processing wafers comprising: filling the process tank described above with a wafer processing liquid through the tank inlet; submerging a wafer carrier holding a plurality wafers into the tank; and applying megasonic energy to the liquid through the first and second transducer arrays for a predetermined time and in a predetermined pattern.
(FR)La présente invention concerne une cuve de traitement simultané de plusieurs tranches ayant un certain diamètre, ladite cuve de traitement comprenant: deux parois latérales sensiblement verticales espacées d'une première distance, cette première distance étant sensiblement égale au diamètre de la tranche; deux parois inclinées vers le haut positionnées entre les parois latérales ; un premier réseau de transducteurs couplé à une des parois inclinées vers le haut, le premier réseau de transducteurs s'étendant sur une longueur inférieure au diamètre de la tranche; et un deuxième réseau de transducteurs couplé à l'autre paroi inclinée vers le haut, le deuxième réseau de transducteurs s'étendant sur une longueur inférieure au diamètre de la tranche. De préférence, la cuve de traitement comprend également une entrée pour le fluide qui est positionnée entre les parois inclinées vers le haut. Selon un autre aspect de l'invention, un procédé de traitement de tranches consiste à: remplir la cuve de traitement selon l'invention avec un liquide de traitement de tranches par l'entrée prévue dans la cuve; à plonger dans la cuve, un porte-tranche supportant une pluralité de tranches; et à appliquer de l'énergie 'mégasonore'' au liquide par l'intermédiaire des premier et deuxième réseaux de transducteurs pendant une durée prédéterminée et suivant une manière prédéterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)