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1. (WO2002080265) MACHINE DE TRAITEMENT AU PLASMA SOUS VIDE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE DUDIT TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/080265    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/009585
Date de publication : 10.10.2002 Date de dépôt international : 29.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.10.2002    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6516 (US) (Tous Sauf US).
ENNIS, Gerard [IE/US]; (IE) (US Seulement)
Inventeurs : ENNIS, Gerard; (IE)
Mandataire : LOWE, Allan, M.; Lowe Hauptman Gilman & Berner, LLP, Suite 310, 1700 Diagonal Road, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
09/821,026 30.03.2001 US
Titre (EN) PLASMA PROCESSOR AND METHOD FOR OPERATING SAME
(FR) MACHINE DE TRAITEMENT AU PLASMA SOUS VIDE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE DUDIT TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum plasma processor includes an electrode array with plural mutually-insulated electrodes forming a bottom or top electrode of the plasma processor. When the electrode array is part of the bottom electrode, the electrodes of the array are parts of a thermoelectric, Peltier effect arrangement responsive to localized temperature sensors and are parts of an electrostatic chuck. The thermoelectric arrangement controls localized temperature of workpieces and the chucking voltages indicate workpiece position relative to a workpiece holder including the electrodes. The electrodes of the arrays are coupled to circuitry for determining and/or controlling at least one localized plasma electric parameter at different locations of a workpiece and/or the plasma. The circuitry simultaneously supplies RF power having differing frequencies and/or power levels to different electrodes of the arrays and includes separate matching networks connected to the different electrodes of the array.
(FR)La présente invention concerne une machine de traitement au plasma sous vide. Ladite machine comprend un réseau d'électrodes présentant plusieurs électrodes mutuellement isolées formant une électrode inférieure ou supérieure de la machine de traitement au plasma. Lorsque le réseau d'électrodes fait partie de l'électrode inférieure, les électrodes du réseau font partie d'un dispositif à effet Peltier, thermoélectrique, sensible à des capteurs de température localisée et font partie d'un plateau de serrage électrostatique. Le dispositif thermoélectrique contrôle la température localisée de pièces à travailler et les tensions de serrage indiquent la position de la pièce à travailler par rapport à un support de pièces à travailler comprenant les électrodes. Les électrodes des réseaux sont couplées au circuit pour déterminer et/ou contrôler au moins un paramètre électrique de plasma localisé à divers emplacements d'une pièce à travailler et/ou du plasma. Le circuit fournit simultanément une puissance radioélectrique présentant des fréquences et/ou des niveaux de puissance différents à différentes électrodes des réseaux et comprend des réseaux de mise en correspondance séparés, connectés aux différentes électrodes du réseau.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)