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1. (WO2002080233) PROCÉDÉ ET APPAREIL DESTINÉS À ÉLIMINER DES RÉSIDUS DE LA MICROSTRUCTURE D'UN OBJET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/080233    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/003608
Date de publication : 10.10.2002 Date de dépôt international : 08.02.2002
CIB :
B08B 7/00 (2006.01), C11D 7/00 (2006.01), C11D 7/32 (2006.01), C11D 11/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 3-18, Wakinohama-cho, 1-chome Chuo-ku, Kobe-shi Hyogo 651-2271 (JP) (Tous Sauf US).
MASUDA, Kaoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ILJIMA, Katsuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Tetsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAWAKAMI, Nobuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAGATA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
PETERS, Daryl, W. [US/US]; (US) (US Seulement).
EGBE, Matthew, I. [JP/JP]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MASUDA, Kaoru; (JP).
ILJIMA, Katsuyuki; (JP).
SUZUKI, Tetsuo; (JP).
KAWAKAMI, Nobuyuki; (JP).
YAMAGATA, Masahiro; (JP).
PETERS, Daryl, W.; (US).
EGBE, Matthew, I.; (US)
Mandataire : FISHER, Stanley, P.; Reed Smith LLP Suite 1400 3110 Fairview Park Drive Falls Church, VA 22042 (US)
Données relatives à la priorité :
2001/034337 09.02.2001 JP
Titre (EN) PROCESS AND APPARATUS FOR REMOVING RESIDUES FROM THE MICROSTRUCTURE OF AN OBJECT
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DESTINÉS À ÉLIMINER DES RÉSIDUS DE LA MICROSTRUCTURE D'UN OBJET
Abrégé : front page image
(EN)A process for removing residues from the microstructure of an object is provided, which comprises steps of preparing a remover including CO¿2? and additive for removing the residues and a co-solvent dissolving the additive in said CO¿2? at a pressurized fluid condition; and bringing the object into contact with the remover so as to remove the residues from the object. An apparatus for implementing the process is also provided.
(FR)L'invention concerne un procédé destinés à éliminer des résidus de la microstructure d'un objet. Ce procédé consiste à préparer un agent d'élimination comprenant du CO¿2? et un additif destinés éliminer les résidus et un co-solvant destiné à dissoudre l'additif dans le CO¿2? dans une condition de fluide pressurisée; et à mettre l'objet en contact avec l'agent d'élimination de manière à éliminer les résidus de l'objet. L'invention concerne aussi un appareil destiné à mettre en oeuvre ce procédé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)