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1. (WO2002080187) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT UNE MICROSCOPIE DE SONDE QUASI-PARALLELE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/080187    N° de la demande internationale :    PCT/IB2002/000984
Date de publication : 10.10.2002 Date de dépôt international : 28.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.10.2002    
CIB :
G01Q 10/06 (2010.01), G01Q 20/04 (2010.01), G01Q 60/24 (2010.01)
Déposants : EIDGENÖSSISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE ZÜRICH [CH/CH]; Physical Electronics Laboratory, ETH Hönggerberg HPT-H6, CH-8093 Zürich (CH) (Tous Sauf US).
HAGLEITNER, Christoph [AT/CH]; (CH) (US Seulement).
LANGE, Dirk [DE/US]; (US) (US Seulement).
ZIMMERMANN, Martin [CH/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : HAGLEITNER, Christoph; (CH).
LANGE, Dirk; (US).
ZIMMERMANN, Martin; (CH)
Mandataire : BARTH, Carl, Otto; Barth & Partner, Zürichstrasse 34, CH-8134 Adliswil/Zürich (CH)
Données relatives à la priorité :
101 15 690.1 29.03.2001 DE
Titre (DE) ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR QUASI-PARALLELEN SONDENMIKROSKOPIE
(EN) ARRAY AND METHOD FOR QUASI-PARALLEL PROBE MICROSCOPY
(FR) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT UNE MICROSCOPIE DE SONDE QUASI-PARALLELE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf die Sondenmikroskopie, insbesondere Rastersondenmikroskopie (Scanning Probe Microscopy) sowie damit verwandte Verfahren wie die Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy) und andere vergleichbare Verfahren. Sie betrifft eine Anordnung mit mehreren, vorzugsweise parallel angeordneten Tastköpfen oder Sonden, die auf jeweils einem Biegebalken oder Cantilever angeordnet sind. Ein sog. Cantilever-Array, d.h. eine Anordnung von mehreren Biegebalken, jeweils mit zugeordnetem Detektor und ggf. Aktor, werden in einem multiplex-Verfahren in der Weise selektiv betrieben, dass der jeweils ausgewählte Biegebalken angesteuert und vom Detektor sein Signal ausgelesen und ggf. Verarbeitet wird, während die übrigen Biegebalken selektiv über ihre Aktore, soweit vorhanden, mittels gespeicherten Signalen konstant gehalten werden. Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft die möglichst weitgehende Integration der Biegebalken, ggf. Des oder der Multiplexer-Schaltungen und der Aktorbzw. Detektorschaltungen in einer gemeinsamen Halbleiterstruktur (Chip).
(EN)The invention relates to probe microscopy, especially scanning probe microscopy and related methods such as atomic force microscopy and other comparable methods. The invention specifically relates to an array with a plurality of preferably parallel scanner heads or probes that are each disposed on a flexible beam or cantilever. A cantilever array, that is an array of a plurality of flexible beams, each with associated detector and optionally actuator, is selectively operated by multiplexing in such a manner that the respective selected flexible beam is controlled and its signal is read by the detector and optionally processed while the remaining flexible beams are selectively maintained constant via their actuators, as far as available, by means of stored signals. Another aspect of the invention relates to the optimized integration of the flexible beams, optionally the multiplexer circuit(s) and the actuator or detector circuits into a common semiconductor structure (chip).
(FR)La présente invention concerne la microscopie de sonde, notamment la microscopie de sonde à balayage (Scanning Probe Microscopy), ainsi que des procédés apparentés tels que la microscopie à force atomique (Atomic Force Microscopy) et autres procédés analogues. Cette invention concerne également un système comportant plusieurs têtes de détection ou sondes disposées de préférence en parallèle, qui sont respectivement disposées sur une barre flexible ou barre en porte-à-faux. Un réseau de barres en porte-à-faux, c'est-à-dire un système constitué de plusieurs barres flexibles, respectivement avec un détecteur ou actionneur associé, fonctionne de manière sélective selon un procédé de multiplexage, de sorte que la barre respectivement choisie est commandée et le signal qu'elle produit est lu par le détecteur et éventuellement traité, alors que les barres flexibles restantes restent à un état constant, de manière sélective par l'intermédiaire de leurs actionneurs, s'il y en a, grâce à des signaux mis en mémoire. Un autre aspect de l'invention concerne l'optimisation de l'intégration des barres flexibles, éventuellement du/des circuit(s) de multiplexage et des circuits d'actionnement ou de détection dans une structure à semi-conducteur commune (puce).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)