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1. (WO2002079538) COMPOSANTS ET REVETEMENTS CERAMIQUES CONTENANT UN OXYDE DE CERIUM D'UN EQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS ET LEURS PROCEDES DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/079538    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/006651
Date de publication : 10.10.2002 Date de dépôt international : 21.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.09.2002    
CIB :
B01J 19/02 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
O'DONNELL, Robert, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
DAUGHERTY, John, E. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : O'DONNELL, Robert, J.; (US).
DAUGHERTY, John, E.; (US)
Mandataire : PETERSON, James, W.; Burns, Doane, Swecker & Mathis, LLP, P.O. Box 1404, Alexandria, VA 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
09/820,693 30.03.2001 US
Titre (EN) CERIUM OXIDE CONTAINING CERAMIC COMPONENTS AND COATINGS IN SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
(FR) COMPOSANTS ET REVETEMENTS CERAMIQUES CONTENANT UN OXYDE DE CERIUM D'UN EQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS ET LEURS PROCEDES DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A corrosion resistant component of semiconductor processing equipment such as a plasma chamber comprises a cerium oxide containing ceramic material as an outermost surface of the component. The cerium oxide containing ceramic material comprises one or more cerium oxides as the single largest constituent thereof. The component can be made entirely of the cerium oxide containing ceramic material or, alternatively, the cerium oxide containing ceramic can be provided as a layer on a substrate such as aluminum or an aluminum alloy, a ceramic material, stainless steel, or a refractory metal. The cerium oxide containing ceramic layer can be provided as a coating by a technique such as plasma spraying. One or more intermediate layers may be provided between the component and the cerium oxide containing ceramic coating. To promote adhesion of the cerium oxide containing ceramic coating, the component surface or the intermediate layer surface may be subjected to a surface roughening treatment prior to depositing the cerium oxide containing ceramic coating.
(FR)Un composant résistant à la corrosion d'un équipement de traitement de semi-conducteurs tel qu'une chambre à plasma comprend un matériau céramique contenant un oxyde de cérium comme surface externe du composant. Le matériau céramique contenant un oxyde de cérium comprend un ou plusieurs oxydes de cérium comme constituant majeur. Le composant peut être constitué entièrement du matériau céramique contenant l'oxyde de cérium ou, la céramique contenant l'oxyde de cérium peut être une couche sur un substrat tel que l'aluminium ou un alliage d'aluminium, un matériau céramique, un acier inoxydable ou un métal réfractaire. La couche céramique contenant l'oxyde de cérium peut être appliquée comme revêtement par une technique telle que la pulvérisation au plasma. Une ou plusieurs couches intermédiaires peuvent être formées entre le composant et le revêtement céramique contenant l'oxyde de cérium. Pour faciliter l'adhésion du revêtement précité, la surface du composant ou la surface de la couche intermédiaire peut être soumise à un traitement d'état de surface avant le dépôt du revêtement céramique contenant l'oxyde de cérium.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)