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1. (WO2002079053) INSERT DE PLAQUETTE FINE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/079053    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/009423
Date de publication : 10.10.2002 Date de dépôt international : 28.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.10.2002    
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard, Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
WISEMAN, Brian [US/US]; (US) (US Seulement).
PETERSON, Michael [US/US]; (US) (US Seulement).
SIMPSON, Tony [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WISEMAN, Brian; (US).
PETERSON, Michael; (US).
SIMPSON, Tony; (US)
Mandataire : CHRISTENSEN, Douglas, C.; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A., 4800 IDS Center, 80 South Eighth Street, Minneapolis, MN 55402-2100 (US)
Données relatives à la priorité :
60/280,774 01.04.2001 US
Titre (EN) THIN WAFER INSERT
(FR) INSERT DE PLAQUETTE FINE
Abrégé : front page image
(EN)A plastic insert (20) is configured to provide support of thin wafers (49) in wafer carriers (45) configured to provide peripheral wafer support. The invention includes the insert, the insert in combination with a wafer carrier, and the, methods of supporting the thin wafers as provided by the insert and the wafer carrier. The insert (20), in preferred embodiments, utilize tabs (80, 82) that fit into the side wall recesses (53) and have an interference fit in said recesses to secure the insert in place.
(FR)La présente invention concerne un insert en plastique (20) conçu pour permettre le montage de fines plaquettes (49) dans des porteurs de plaquettes (45) conçus pour permettre la montage de plaquettes périphériques. L'invention comprend l'insert, l'insert combiné à un porteur de plaquettes, et les procédés de montage des fines plaquettes tels que fournis par l'insert et le porteur de plaquettes. Dans des modes de réalisation préférés, les insert (20) utilisent des languettes (80, 82) qui s'ajustent dans les creux des parois latérales (53) et présentent un ajustement serré dans lesdits creux pour maintenir l'insert en place.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)