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1. (WO2002078063) CHAMBRE DE TRANSFERT A OUVERTURE D'ACCES LATERALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/078063    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/008667
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 21.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.10.2002    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : FRANKLIN, Timothy, J.; (US).
MAROHL, Dan, A.; (US)
Mandataire : PATTERSON, William, B.; MOSER, PATTERSON & SHERIDAN, LLP, 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
09/814,807 21.03.2001 US
Titre (EN) TRANSFER CHAMBER WITH SIDE WALL PORT
(FR) CHAMBRE DE TRANSFERT A OUVERTURE D'ACCES LATERALE
Abrégé : front page image
(EN)A chamber for transferring a substrate is provided. In one embodiment, a chamber for transferring a substrate includes at least one side wall supporting a lid and coupled to a chamber bottom. The side wall, lid and chamber bottom defining an evacuable volume therebetween. A passage is disposed at least partially through the side wall and chamber bottom. The passage has a first end that is disposed in the side wall and is exposed to the evacuable volume. The passage has a second end that is disposed on an exterior side of the chamber bottom. The passage may be utilized as a pumping port when coupled to a pumping system at the second end of the passage. Additionally, the port may be utilized as a sensor housing to shield the sensor from objects within the transfer chamber.
(FR)L'invention concerne une chambre permettant de transférer un substrat. Dans un mode de réalisation, cette chambre de transfert de substrat comprend au moins une paroi latérale supportant un couvercle et connectée avec le fond de la chambre. La paroi latérale, le couvercle et le fond de la chambre définissent un volume pouvant être mis sous vide. Un passage est aménagé de manière à traverser au moins partiellement la paroi latérale et le fond de la chambre. Ce passage présente une première extrémité disposée dans la paroi latérale et s'ouvrant dans le volume pouvant être mis sous vide. Ce passage présente en outre une seconde extrémité disposée sur la face externe du fond de la chambre. Ce passage peut être utilisé comme orifice de pompage lorsque la second extrémité est raccordée à système de pompage. L'ouverture d'accès peut en outre servir de logement pour un capteur et permettre d'isoler le capteur des objets se trouvant à l'intérieur de la chambre de transfert.
États désignés : CN, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)