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1. (WO2002077985) DISPOSITIF D'ASSEMBLAGE DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077985    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/002213
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 01.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.10.2002    
CIB :
B29C 65/48 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
Déposants : STEAG HAMATECH AG [DE/DE]; Ferdinand-von-Steinbeis-Ring 10, 75447 Sternenfels (DE) (Tous Sauf US).
HUPP, Alexander [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SPEER, Ulrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WAGNER, Roland [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MICHELS, Frank [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : HUPP, Alexander; (DE).
SPEER, Ulrich; (DE).
WAGNER, Roland; (DE).
MICHELS, Frank; (DE)
Données relatives à la priorité :
101 13 833.4 21.03.2001 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUM ZUSAMMENFÜGEN VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE FOR JOINING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF D'ASSEMBLAGE DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(DE)Um eine Vorrichtung zum Zusammenfügen von ein Innenloch aufweisenden Substraten (3,4) zu einer Substratscheibe zu schaffen, die auf einfache und kostengünstige Weise eine gleichzeitige Drehung beider Substrate (3,4) während des Verklebevorgangs gewährleistet, weist die Vorrichtung ein in das Innenloch von wenigstens zwei übereinander liegenden Substraten (3,4) einführbares Element auf, das zum Schliessen eines Zwischenraums (30) zwischen den Substraten aufweitbar ist.
(EN)The invention relates to a device for joining substrates (3, 4) having an inner whole to give a wafer. The aim of the invention is provide a simple and inexpensive device that allows for a simultaneous rotation of the two substrates (3, 4) during gluing. To this end, the device has an element that can be inserted in the inner whole of at least two superimposed substrates (3, 4) and that can be expanded to close an interstice (30) between the substrates.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'assemblage sous forme d'un disque substrat de substrats (3, 4) présentant un trou intérieur. L'invention vise à mettre en oeuvre de manière simple et économique un tel dispositif permettant une rotation simultanée des deux substrats (3, 4) lors du processus d'encollage. A cet effet, le dispositif selon l'invention présente un élément pouvant être inséré dans le trou intérieur d'au moins deux substrats superposés (3, 4), ledit élément pouvant s'écarter de manière à fermer un espace intermédiaire (30) entre les substrats.
États désignés : CA, CN, IL, JP, KR, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)