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1. (WO2002077911) DETECTION AUTOMATIQUE DE L'ALIGNEMENT OU DE LA SUPERPOSITION DES MOTIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077911    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/048616
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 13.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.09.2002    
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G06K 9/46 (2006.01), G06K 9/64 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01), G06T 7/60 (2006.01)
Déposants : LEE, Shih-Jong [US/US]; (US).
OH, Seho [KR/US]; (US) (US Seulement).
NELSON, Larry [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEE, Shih-Jong; (US).
OH, Seho; (US).
NELSON, Larry; (US)
Données relatives à la priorité :
09/815,816 23.03.2001 US
Titre (EN) AUTOMATIC DETECTION OF ALIGNMENT OR REGISTRATION MARKS
(FR) DETECTION AUTOMATIQUE DE L'ALIGNEMENT OU DE LA SUPERPOSITION DES MOTIFS
Abrégé : front page image
(EN)Mark detection and position determination are improved by use of directional elongated filters (5102), symmetry, gray scale image processing, structural constraints, and learning. Directional elongated filters are used to pre-process images of registration marks to create masks (5104) and enhanced images. Working sequentially (1001), portions of the mark are detected and classified. The input gray scale image of the mark is processed using its structural constraints in conjunction with a mask for the detected mark. A cost function estimation determines mark position and orientation with sub-pixel accuracy. Learning is used to improve specific application performance.
(FR)Selon l'invention, on améliore la détection (102) et la détermination de la position des motifs au moyen de filtres directifs allongés (5102), par symétrie, traitement d'image en niveaux de gris, contraintes structurelles, et apprentissage. On utilise les filtres directifs allongés pour prétraiter les images de superposition de motifs et créer ainsi des masques (5104) et des images améliorées. Certaines parties des motifs sont détectées et classifiées séquentiellement (1001). L'image en niveau de gris d'entrée du motif est traitée à l'aide de ses contraintes structurelles, conjointement avec un masque pour le motif détecté. Une estimation de fonction de coût détermine la position et l'orientation des motifs avec une précision sous-pixel. On utilise l'apprentissage pour améliorer certaines performances d'application spécifiques.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)