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1. (WO2002077715) PROCEDE DE FABRICATION D'ANGLES AIGUS DE BIFURCATIONS EN Y DANS DES COMPOSANTS OPTIQUES INTEGRES ET D'AUTRES MICRODISPOSITIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077715    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/002285
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 25.01.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.10.2002    
CIB :
G02B 6/12 (2006.01), G02B 6/125 (2006.01), G02B 6/136 (2006.01)
Déposants : INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : WANG, Xiaolin; (US).
LEON, Francisco; (US)
Mandataire : MALLIE, Michael, J.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman, 12400 Wilshire Boulevard, 7th Floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/814,424 21.03.2001 US
Titre (EN) METHOD OF FABRICATION TO SHARPEN CORNERS OF WAVEGUIDE Y-BRANCHES IN INTEGRATED OPTICAL COMPONENTS
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'ANGLES AIGUS DE BIFURCATIONS EN Y DANS DES COMPOSANTS OPTIQUES INTEGRES ET D'AUTRES MICRODISPOSITIFS
Abrégé : front page image
(EN)Substantially sharp corners for optical waveguides in integrated optical devices, photonic crystal devices, or for micro-devices, can be fabricated. Non-sharp corners such as rounded corners (28), are first formed using lithographic patterning and vertical etching, Next, isotropic etching is used to sharpen the rounded corners. A monitor can be used to determine if the rounded corners (28) have been sufficiently sharpened by the isotropic etching.
(FR)Procédé de fabrication d'angles de bifurcations en Y sensiblement aigus pour guides d'onde optiques de dispositifs optiques intégrés, dispositifs à cristal photonique ou microdispositifs. Des angles non aigus, p. ex. arrondis, sont d'abord formés à l'aide de techniques lithographiques de formation de motifs et par gravure verticale. Une gravure isotrope est ensuite utilisée pour rendre plus aigus les angles arrondis. Un moniteur peut servir à déterminer si les angles arrondis ont été rendus suffisamment aigus par la gravure isotrope.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)