WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002077567) INSTRUMENT POUR MESURER LA HAUTEUR ET PROCEDE DE MESURE DE LA HAUTEUR UTILISANT CET INSTRUMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077567    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/002659
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 20.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.08.2002    
CIB :
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 151-0072 (JP) (Tous Sauf US).
KITA, Nobuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KANEGAE, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WATANABE, Hideo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KITAHARA, Akihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KITA, Nobuhiro; (JP).
KANEGAE, Shigeru; (JP).
WATANABE, Hideo; (JP).
KITAHARA, Akihiro; (JP)
Mandataire : SHINOHARA, Taiji; 7-14, Kudan-minami 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 102-0074 (JP)
Données relatives à la priorité :
2001-082593 22.03.2001 JP
2001-223992 25.07.2001 JP
2001-228111 27.07.2001 JP
2001-229114 30.07.2001 JP
Titre (EN) HEIGHT MEASURING INSTRUMENT, AND METHOD OF MEASURING HEIGHT USING THE SAME
(FR) INSTRUMENT POUR MESURER LA HAUTEUR ET PROCEDE DE MESURE DE LA HAUTEUR UTILISANT CET INSTRUMENT
Abrégé : front page image
(EN)A height measuring instrument comprises an object lens (8) for focusing light from a light source (3) on a sample (9), a moving mechanism (14) for relatively moving the focusing position of the object lens (9) and the position of the sample (9) along the direction of the optical axis of the focused light, a small-aperture member (11) positioned conjugate to the focusing position of the object lens (9), and an optical detector (12) for detecting the intensity of the light passing through the small-aperture member (11). A method of measuring the height of the sample (9) using this height measuring instrument comprises the steps of making two cofocal images by changing the relative position between the focusing position of the object lens (8) and the sample (9), calculating the difference/sum of the outputs from the optical detector (12) for the corresponding individual pixels, and multiplying this calculated value by a predetermined coefficient, thereby obtaining information about the height of each sample point.
(FR)L'invention concerne un instrument pour mesurer la hauteur, comprenant une lentille (8) destinée à focaliser une lumière provenant d'une source de lumière (3) sur un échantillon (9), un mécanisme mobile (14) permettant de déplacer de façon relative la position de focalisation de la lentille (8) et la position de l'échantillon (9) le long de la direction de l'axe optique de la lumière focalisée, un élément à faible ouverture (11) positionné de façon conjuguée par rapport à la position de focalisation de la lentille (9) et un détecteur optique (12) destiné à détecter l'intensité de la lumière traversant l'élément à faible ouverture (11). L'invention concerne également un procédé de mesure de la hauteur de l'échantillon (9) à l'aide de cet instrument pour mesurer la hauteur, consistant à créer deux images homofocales en changeant la position relative entre la position de focalisation de la lentille (8) et de l'échantillon (9), à calculer la différence/somme des sorties du détecteur optique (12) pour les pixels individuels correspondants et à multiplier cette valeur calculée par un coefficient prédéterminé. Ce procédé permet ainsi d'obtenir des informations relatives à la hauteur de chaque point d'échantillon.
États désignés : CN, KR, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)