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1. (WO2002077319) APPAREIL DE DEPOT DE FIL DE DIAMANT UTILISANT DES MICRO-ONDES ET DU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077319    N° de la demande internationale :    PCT/KR2001/000487
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 27.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.10.2002    
CIB :
C23C 16/27 (2006.01), C23C 16/511 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : SMALL & MEDIUM INDUSTRY PROMOTION CORPORATION [KR/KR]; 24-3 Yoido-dong Youngdeungpo-gu, Seoul 150-718 (KR) (Tous Sauf US).
SOHN, Hee-Sik [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
CHOE, Wayne, H. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SOHN, Hee-Sik; (KR).
CHOE, Wayne, H.; (US)
Mandataire : KIM, Eun-Gu; Pedison International Patent and Law Office, 824-28, Yoksam-dong, Kangnam-gu, Seoul 135-080 (KR)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DIAMOND FILM DEPOSITING APPARATUS USING MICROWAVES AND PLASMA
(FR) APPAREIL DE DEPOT DE FIL DE DIAMANT UTILISANT DES MICRO-ONDES ET DU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed herewith is a diamond film depositing apparatus using microwaves and plasma. The apparatus comprises a rectangular wave guide (125), a mode transition coupler (120), an antenna rod (130), a quartz bell jar (140), a workpiece holder (116), a microwave cavity resonator (112), a source gas inflow ring (160), a mechanical support cylinder (164), a cooling jacket (165), gas inflow and outflow conduits (172 and 174) and a vacuum seal (190). The microwave cavity resonator (112) has a cylindrical shape the diameter of which is decreased in a downward direction. The microwave cavity resonator (112) may have a hemispherical shape, the flat surface of which is oriented upward.
(FR)Cette invention concerne un appareil de dépôt de film de diamant utilisant des micro-ondes et du plasma. Cet appareil comprend un guide d'ondes rectangulaire (125), un coupleur de transition de mode (120), une antenne tige (130), une cloche en verre de quartz (140), un support de pièce (116), un résonateur à cavité micro-ondes (112), un anneau d'entrée de gaz source (160), un cylindre de support mécanique (164), une enveloppe de refroidissement (165), des conduits d'entrée et de sortie de gaz (172, 174) et un joint hermétique (190). Le résonateur à cavité micro-ondes (112) se présente sous la forme d'un cylindre dont le diamètre décroît en direction descendante. Ce résonateur à cavité micro-ondes (112) peut se présenter sous la forme d'un hémisphère, dont la surface plane est orientée vers le haut.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)