WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002077318) EVAPORATEUR A ARC ELECTRIQUE AVEC GUIDE MAGNETIQUE PUISSANT POUR CIBLES DE SURFACE IMPORTANTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/077318    N° de la demande internationale :    PCT/ES2001/000119
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 27.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.10.2002    
CIB :
C23C 14/32 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : FUNDACIÓN TEKNIKER [ES/ES]; Avenida Otaola, 20, E-20600 Eibar (ES) (Tous Sauf US).
GOIKOETXEA LARRINAGA, Josu [ES/ES]; (ES) (US Seulement)
Inventeurs : GOIKOETXEA LARRINAGA, Josu; (ES)
Mandataire : CARPINTERO LOPEZ, Francisco; Herrero & Asociados, S.L., Alcalá, 35, E-28014 Madrid (ES)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ARC EVAPORATOR WITH A POWERFUL MAGNETIC GUIDE FOR TARGETS HAVING A LARGE SURFACE AREA
(ES) EVAPORADOR DE ARCO CON GUÍA MAGNÉTICA INTENSA PARA BLANCOS DE SUPERFICIE AMPLIA
(FR) EVAPORATEUR A ARC ELECTRIQUE AVEC GUIDE MAGNETIQUE PUISSANT POUR CIBLES DE SURFACE IMPORTANTE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an arc evaporator comprising an anode (1) and a cathode or target (2), which is used to produce the evaporated material that is to be applied to the part to be covered (10) inside a vacuum chamber. The inventive evaporator also comprises a magnetic guide which is used to ensure that the electric arc moves over the entire surface area of the target in a homogeneous manner. The magnetic guide comprises two independent magnetic systems: the first of said magnetic systems consists of a group of permanent magnets (3) which are disposed on the periphery of the cathode or target (2) and arranged to be more or less coplanar with said target in such a way that the magnetisation thereof is perpendicular to the surface area of the target (2); the second magnetic system consists of an electromagnet (4-5) which is located on the rear part of the target (2) and which is housed in the electrically insulating body (6) of the evaporator at a certain distance from said target (2), with at least one of the magnetic poles thereof being parallel to the surface area of the target. In this way, the combined action of the two magnetic systems ensures that the target (2) is used or worn down uniformly, while the reliability of the evaporator is increased.
(ES)Incorporando un ánodo (1) y un cátodo o blanco (2), del que se obtiene el material evaporado que va a ser suministrado a la pieza a recubrir (10) en el seno de una cámara de vacío, y donde con una guía magnética se intenta que la acción del arco eléctrico sobre el blanco se desplace sobre toda la superficie del mismo, de forma homogénea, la citada guía magnética está constituida mediante dos sistemas magnéticos independientes, un primer sistema magnético constituido por un conjunto de imanes permanentes (3) situados en la periferia del cátodo o blanco (2), en disposición sensiblemente coplanaria con el mismo, de manera que su imantación es perpendicular a la superficie de dicho blanco (2), y un segundo sistema magnético constituido por un electroimán (4-5), situado en la parte posterior del blanco (2), alojado en el cuerpo eléctricamente aislante (6) del evaporador y a cierta distancia de dicho blanco (2), con al menos uno de sus polos magnéticos paralelo a la superficie de dicho blanco (2), de manera que la acción combinada de los dos sistemas magnéticos determina un uso o consumo uniforme del blanco (2), a la vez que un aumento en la fiabilidad del evaporador.
(FR)L'invention concerne un évaporateur à arc électrique avec guide magnétique puissant pour cibles de surface importante, comprenant une anode (1) et une cathode ou cible (2) à partir de laquelle on obtient la matière évaporée destinée à être appliquée sur la pièce à revêtir (10), à l'intérieur d'une chambre à vide. Cet évaporateur comprend également un guide magnétique permettant de déplacer l'action de l'arc électrique sur la cible de façon à recouvrir toute la surface de la cible de façon homogène, le guide magnétique étant formé par deux systèmes magnétiques indépendants. Le premier système magnétique est constitué d'un ensemble d'aimants permanents (3) situés sur le bord externe de la cathode ou de la cible (2) selon une disposition sensiblement coplanaire par rapport à cette dernière, de façon que leur aimantation soit perpendiculaire à la surface de ladite cible (2). Le second système magnétique est constitué d'un électroaimant (4-5) situé dans la partie postérieure de la cible (2), dans le corps électriquement isolant (6) de l'évaporateur, à une certaine distance de ladite cible (2), un de ses pôles magnétiques étant parallèle à la surface de ladite cible (2). Ainsi, l'action combinée des deux systèmes permet une utilisation et une consommation uniforme de la cible (2) et une augmentation de la fiabilité de l'évaporateur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : espagnol (ES)
Langue de dépôt : espagnol (ES)