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1. (WO2002076581) APPAREIL ET PROCEDE DE PIEGEAGE POUR DES SOUS-PRODUITS CONDENSABLES DE REACTIONS DE DEPOT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/076581    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/007040
Date de publication : 03.10.2002 Date de dépôt international : 08.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.10.2002    
CIB :
B01D 8/00 (2006.01), B01D 45/08 (2006.01), B01D 53/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 5330 Sterling Drive, Boulder, CO 80301 (US)
Inventeurs : GU, Youfan; (US)
Mandataire : YOUNG, James, R.; Faegre & Benson LLP, 1900 Fifteenth Street, Boulder, CO 80302 (US)
Données relatives à la priorité :
09/816,639 23.03.2001 US
Titre (EN) TRAP APPARATUS AND METHOD FOR CONDENSABLE BY-PRODUCTS OF DEPOSITION REACTIONS
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE PIEGEAGE POUR DES SOUS-PRODUITS CONDENSABLES DE REACTIONS DE DEPOT
Abrégé : front page image
(EN)A trap 10 for condensable liquids, such as tantalum pentoxide, has a primary trapping chamber 50 surrounding a secondary trapping chamber 90 and a sump 11 connected by a small enough opening to the primary or secondary chamber such that trapped liquid in the sump 11 is effectively isolated from a gas flow through the primary and secondary chambers. Partitions and openings in the primary and secondary chambers enhance condensation while allowing condensed liquid flow that does not clog the primary and secondary chambers against the gas flow.
(FR)La présente invention concerne un piège (10) pour des liquides condensables, tels que l'oxyde de tantale, présentant une enceinte de piégeage primaire (50) entourant une enceinte de piégeage secondaire (90) et un puisard (11) relié par une ouverture suffisamment petite à l'enceinte primaire ou secondaire de sorte que le liquide piégé dans le puisard (11) soit efficacement isolé d'un écoulement gazeux à travers les enceintes primaire et secondaire. Des cloisons et des ouvertures dans les enceintes primaire et secondaire améliorent la condensation tout en permettant un écoulement de liquide condensé qui ne bouche pas les enceintes primaire et secondaire à l'encontre de l'écoulement des gaz. FIG. 4 : A VERS LE PUISARD (11)
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)