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1. (WO2002050867) PIEGE COLLECTEUR DE CONTAMINANTS POUR IMPLANTEUR IONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/050867    N° de la demande internationale :    PCT/GB2001/005508
Date de publication : 27.06.2002 Date de dépôt international : 13.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.07.2002    
CIB :
B01D 45/16 (2006.01), B04C 5/103 (2006.01), B04C 5/12 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 55 Cherry Hill Drive, Beverly, MA 01915 (US).
EATON LIMITED [GB/GB]; P.O. Box 22, Norfolk Street, Worsley Road North, Worsley, Manchester M28 3ET (GB) (CA only)
Inventeurs : QUILL, James, Patrick; (US)
Mandataire : BURKE, Steven, D.; R.G.C. Jenkins & Co., 26 Caxton Street, London SW1H 0RJ (GB)
Données relatives à la priorité :
09/742,910 20.12.2000 US
Titre (EN) CENTRIFUGAL TYPE CONTAMINANT COLLECTOR TRAP FOR ION IMPLANTER
(FR) PIEGE COLLECTEUR DE CONTAMINANTS POUR IMPLANTEUR IONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An evacuation system for a chamber (14) is provided system for a chamber (14) is provided, including a pump (12) for removing gases and contaminants from the chamber. The pump has an outlet (32) connected to an exhaust duct (34). A collector trap (42) for us in collecting contaminants evacuated from the chamber is positioned between the pump outlet (32) and the exhaust duct (34). The collector trap (42) comprises: (i) a gas/contaminant separator (46) having an inlet (56) for introducing gases and contaminants therein, the separator (46) functioning to physically separate the gases and contaminants, the collector (48) including an extractor coupling (70) for allowing extraction of the contaminants from the collector; and (iii) an outlet (72) for allowing the separated gases to exit the gas/contaminant separator (46) and into the exhaust duct (34).
(FR)L'invention concerne un système d'évacuation conçu pour une chambre (14), comprenant une pompe (12) destinée à évacuer les gaz et les contaminants contenus dans ladite chambre. La pompe présente une sortie (32) reliée à un conduit d'échappement (34). Un piège collecteur (42), servant à recueillir les contaminants évacués de la chambre, est placé entre la sortie (32) de la pompe et le conduit d'échappement (34). Le piège collecteur (42) comporte (i) un séparateur (46) gaz/contaminants pourvu d'une entrée (56) pour l'introduction de gaz et de contaminants, ledit séparateur (46) servant à séparer physiquement les gaz des contaminants; (ii) un collecteur de contaminants (48) pour recueillir les contaminants séparés, ledit collecteur (48) comportant un couplage d'extraction (70) permettant d'extraire les contaminants du collecteur; et (iii) une sortie (72) qui permet aux gaz séparés de sortir du séparateur (46) gaz/contaminants et d'entrer dans le conduit d'échappement (34).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)