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1. (WO2002050863) MECANISME DE FIXATION DE SUPPORT D'ECHANTILLONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/050863    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/011079
Date de publication : 27.06.2002 Date de dépôt international : 18.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.04.2002    
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahicho 1-chome Nerima-ku, Tokyo 179-0071 (JP) (Tous Sauf US).
HARA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HARA, Toshihiko; (JP)
Mandataire : KUSANO, Takashi; Sagami Building 2-21, Shinjuku 4-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-385175 19.12.2000 JP
Titre (EN) SAMPLE CARRIER FIXING MECHANISM
(FR) MECANISME DE FIXATION DE SUPPORT D'ECHANTILLONS
Abrégé : front page image
(EN)A sample carrier fixing mechanism having a simple structure requiring no drive device for driving clamps for positioning/fixing a sample carrier. A set of clamps is turnably attached to a base through support members. Each clamp includes a mounting portion for mounting thereon the sample carrier, and a fixing portion protruding from the mounting portion for positioning and fixing the mounted sample carrier by turning each clamp. An elastic force is exerted on each clamp so that their end portions can be turned upward. When the sample carrier is mounted on the mounting portions of the clamps, the clamps are turned against the elastic force by the weight of the sample carrier, so that the sample carrier is clamped and fixed by the fixing portions.
(FR)Cette invention a trait à un mécanisme de fixation de support d'échantillons présentant une structure simple qui ne nécessite pas de dispositif d'entraînement pour amener les fixations en vue du placement et de la fixation d'un support d'échantillons. Une série de fixations est attachée pivotante à une base par le biais d'éléments de support. Chaque fixation comprend une partie de montage servant à monter ledit support, et une partie de fixation dépassant de la partie de montage destinée à positionner et fixer ledit support monté par le mouvement de pivot de chaque fixation. Une force élastique est exercée sur chaque fixation, de telle manière que leurs parties d'extrémité peuvent tourner vers le haut. Lorsque le support d'échantillons est monté aux portions de montage des fixations, celles-ci sont amenées à tourner à l'encontre de la force élastique engendrée par le poids du support d'échantillons. Ainsi, le support d'échantillons est serré et fixé par les parties de fixation.
États désignés : CN, DE, JP, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)