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1. (WO2002050528) MICROCAPTEUR ET SYSTEME A MICROCAPTEUR INTEGRE MONOPUCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/050528    N° de la demande internationale :    PCT/IB2001/002491
Date de publication : 27.06.2002 Date de dépôt international : 11.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.06.2002    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), G01N 27/12 (2006.01), G01N 33/00 (2006.01)
Déposants : EIDGENÖSSISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE ZÜRICH [CH/CH]; Physical Electronics Laboratory, ETH Hönggerberg HPT-H6, CH-8093 Zürich (CH) (Tous Sauf US).
BALTES, Henry [CA/CH]; (CH) (US Seulement).
BARRETTINO, Diego [IT/CH]; (CH) (US Seulement).
GRAF, Markus [DE/CH]; (CH) (US Seulement).
HAGLEITNER, Christoph [AT/CH]; (CH) (US Seulement).
HIERLEMANN, Andreas [DE/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : BALTES, Henry; (CH).
BARRETTINO, Diego; (CH).
GRAF, Markus; (CH).
HAGLEITNER, Christoph; (CH).
HIERLEMANN, Andreas; (CH)
Mandataire : BARTH, Carl, O.; Barth & Partner, Zürichstrasse 34, CH-8134 Adliswil/Zürich (CH)
Données relatives à la priorité :
100 63 972.0 20.12.2000 DE
101 12 079.6 12.03.2001 DE
Titre (EN) MICROSENSOR AND SINGLE CHIP INTEGRATED MICROSENSOR SYSTEM
(FR) MICROCAPTEUR ET SYSTEME A MICROCAPTEUR INTEGRE MONOPUCE
Abrégé : front page image
(EN)A microsensor system, in particular gas sensor system, is integrated on a single chip and includes a microsensor, preferably a resistive-film-sensor configuration, with a microheater, the latter preferably of essentially round, elliptic or polygonal structure. The microsensor is located on a thermally insulated semiconductor structure, e.g. a thin membrane. Further included or integrated on the chip may be one or more first circuits for controlling the microheater and/or second circuits for evaluating or processing the measured values obtained from the microsensor. The first circuits may include power and/or temperature controller for the microheater. The second circuits may include an A/D converter, a digital signal processor, a digital output interface for processing sensor signals and transferring them to external devices, and/or potentiostats to regulate the electrode potential applied to the gas-sensitive layer. Also provided on a single chip may be a plurality of microsensors and micro-heaters with associated integrated circuits. The latter may then include multiplexing circuits for the sensor and the heater signals.
(FR)L'invention concerne un système à microcapteur, en particulier un système à microdétecteur de gaz, qui est intégré sur une monopuce, et comprend un microcapteur, de préférence une configuration de capteur à film résistif, équipé d'un microfilament présentant, de préférence, une structure généralement ronde, elliptique ou polygonale. Le microcapteur est situé sur une structure à semi-conducteur isolée thermiquement, p. ex. une membrane mince. La puce peut également comprendre ou intégrer un ou plusieurs circuits d'une première série de circuits destinés à commander le microfilament, et/ou une seconde série de circuits destinés à évaluer ou traiter les valeurs mesurées obtenues du microcapteur. La première série de circuits peut inclure un régulateur d'énergie et/ou de température pour le microfilament. La seconde série de circuits peut inclure un convertisseur A/N, un processeur de signal numérique, une interface de sortie numérique pour traiter des signaux du capteur et les transférer à des dispositifs extérieurs, et/ou des potentiostats pour réguler le potentiel électrolytique appliqué sur la couche sensible au gaz. La monopuce peut en outre accueillir plusieurs microcapteurs et microfilaments avec les circuits intégrés qui leur sont associés. Ces derniers peuvent alors comprendre des circuits de multiplexage pour les signaux du capteur et du filament.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)