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1. (WO2002050509) SYSTEME AMELIORE DE MESURE DE STRUCTURES PERIODIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2002/050509 N° de la demande internationale : PCT/US2001/049259
Date de publication : 27.06.2002 Date de dépôt international : 18.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 19.07.2002
CIB :
G01B 11/00 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; 160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809, US
Inventeurs : ZHAO, Guoheng; US
GROSS, Kenneth, P.; US
SMEDT, Rodney; US
NIKOONAHAD, Mehrdad; US
Mandataire : HSUE, James, S.; Skjerven Morrill LLP Three Embarcadero Center, 28th Floor San Francisco, CA 94111, US
Données relatives à la priorité :
09/742,02920.12.2000US
Titre (EN) IMPROVED SYSTEM FOR MEASURING PERIODIC STRUCTURES
(FR) SYSTEME AMELIORE DE MESURE DE STRUCTURES PERIODIQUES
Abrégé : front page image
(EN) A periodic structure (32) is illuminated by polychromatic electromagnetic radiation (20). Radiation from the structure is collected and divided into two rays having different polarization states. The two rays (46, 48) are detected from which one or more parameters of the periodic structure may be derived. In another embodiment, when the periodic structure is illuminated by a polychromatic electromagnetic radiation, the collected radiation from the structure is passed through a polarization element having a polarization plane. The element and the polychromatic beam are controlled so that the polarization plane of the element are at two or more different orientations with respect to the plane of incidence of the polychromatic beam.
(FR) L'invention concerne une structure périodique qui est illuminée par un rayonnement polychrome électromagnétique. Le rayonnement de la structure est capté et divisé en deux rayons dotés de différents états de polarisation. Les deux rayons sont détectés, rayons à partir desquels un ou plusieurs paramètres de la structure périodique peuvent être dérivés. Dans un autre dispositif, lorsque la structure périodique est illuminée par un rayonnement polychrome électromagnétique, le rayonnement capté de la structure est passé à travers un élément de polarisation doté d'un plan de polarisation. L'élément et le faisceau polychrome sont commandés de façon que le plan de polarisation de l'élément soit placé selon au moins deux orientations différentes par rapport au plan d'incidence du faisceau polychrome. Le rayonnement ayant traversé l'élément est détecté lorsque le plan de polarisation est placé dans au moins deux positions de façon qu'au moins un paramètre de la structure périodique soit dérivé des signaux détectés. Au moins une des orientations du plan de polarisation est sensiblement fixe lorsque la détection a lieu. Afin d'obtenir une empreinte aussi petite que possible, on emploie un dispositif optique qui comprend un premier élément dirigeant un faisceau polychrome du rayonnement électromagnétique vers la structure et un second élément optique captant le rayonnement de la structure, les deux éléments formant une unité solidaire ou étant fixés l'un à l'autre pour former une unité intégrée. Afin de réduire l'empreinte, l'instrument de mesure et la plaquette sont déplacés. Dans un dispositif, l'appareil et la plaquette subissent un mouvement de translation transversalement l'un à l'autre. Dans un autre agencement, un des deux mouvements est un mouvement de translation et l'autre de rotation. Tout dispositif décrit peut être inclu dans un appareil de traitement et de détection intégré qui comprend également un système de traitement traitant l'échantillon, le système de traitement réagissant à une sortie d'un dispositif décrit quelconque pour ajuster un paramètre de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)