WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002050501) DEFINITION DE PROFILS PARAMETRIQUE AU MOYEN DE SYSTEMES SPECTROSCOPIQUES OPTIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/050501    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/049001
Date de publication : 27.06.2002 Date de dépôt international : 18.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.07.2002    
CIB :
G01J 3/447 (2006.01), G01J 4/04 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 160 Rio Robles, San Jose, CA 95134-1809 (US)
Inventeurs : SHCHEGROV, Andrei, V.; (US).
FABRIKANT, Anatoly; (US).
NIKOONAHAD, Mehrdad; (US)
Mandataire : HSUE, James, S.; PARSONS HSUE & de RUNTZ LLP, 655 Montgomery Street, Suite 1800, San Francisco, CA 94111 (US)
Données relatives à la priorité :
09/741,663 19.12.2000 US
Titre (EN) PARAMETRIC PROFILING USING OPTICAL SPECTROSCOPIC SYSTEMS
(FR) DEFINITION DE PROFILS PARAMETRIQUE AU MOYEN DE SYSTEMES SPECTROSCOPIQUES OPTIQUES
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates in general to systems dor finding profiles of topographical features of small dimensions, such as those of a silicon substrate (12), and in particular to such systems using optical spectrometer (60).
(FR)La présente invention concerne, d'une manière générale, des systèmes permettant de définir des profils de traits topographiques de petite taille, tels que ceux d'un substrat de silicium (12). Cette invention concerne, en particulier, ce type de systèmes faisant appel à un spectromètre optique (60).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)