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1. (WO2002049094) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MONTAGE DE MICROCIRCUIT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/049094    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/008734
Date de publication : 20.06.2002 Date de dépôt international : 11.12.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.05.2001    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 4-18, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku Osaka-shi, Osaka 530-0005 (JP) (Tous Sauf US).
YAMAUCHI, Akira [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMAUCHI, Akira; (JP).
ARAI, Yoshiyuki; (JP)
Mandataire : SUGITANI, Tsutomu; Nishitenma No. 11 Matsuya Bldg. 10-8, Nishitenma 1-chome Kita-ku, Osaka-shi Osaka 530-0047 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MOUNTING A CHIP
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MONTAGE DE MICROCIRCUIT
Abrégé : front page image
(EN)A tool (2) is lowered to mount a chip (1) on a substrate (5) supported by a stage (4), without effects of the thermal expansion of a feed mechanism (7) of a Z-axis feed device (3), while correcting the shapes of bumps of the chip (1). The Z-axis feed device (3) vertically moves a holder support means (15) to which a tool holder (17) is attached using a static-pressure air bearing (18). The tool holder (17) is equipped with a tool (2) that carries a chip (1). The holder support means (15) is equipped with a height-detecting means (23) that detects the height of the tool holder (17) and feeds it back to drive control means (22) of the Z-axis feed device (3). The holder support means (15) includes a pressure port (19) and a balance pressure port (20).
(FR)Selon la présente invention, on utilise un outil (2) descendant pour monter un microcircuit (1) sur un substrat (5) reposant sur un plateau (4), et ce, en s'affranchissant de la dilatation thermique de l'introducteur (7) d'un d'alimenteur vertical (3), tout en tenant compte des erreurs de forme des bosses du microcircuit (1). L'alimenteur vertical (3) transporte verticalement au moyen d'un palier à air à pression statique (18) un bras porte-outil (15) solidaire d'un porte-outil (17). Ce porte-outil (17) est équipé d'un outil (2) qui transporte un microcircuit (1). Le bras porte-outil (15) est équipé d'un détecteur de hauteur (23) qui mesure la hauteur du porte-outil (17) et fournit en retour cette information au contrôleur de position (22) de l'alimenteur vertical (3). Le bras porte-outil (15) comporte un orifice pression (19) et un orifice pression d'équilibre (20).
États désignés : CA, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)