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1. (WO2002049085) APPAREIL DESTINE A NETTOYER DES BORDS DE TRANCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/049085    N° de la demande internationale :    PCT/KR2001/002169
Date de publication : 20.06.2002 Date de dépôt international : 14.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.06.2002    
CIB :
B08B 7/00 (2006.01), B24C 1/00 (2006.01), B24C 3/02 (2006.01), B24C 3/22 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Déposants : K.C.TECH CO., LTD. [KR/KR]; 268-1, Geruk-ri, Miyang-myon, Kyonggi-do, Ansong-shi 456-843 (KR) (Tous Sauf US).
KO, Se-Jong [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
KIM, Jung-Gwan [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
YOON, Cheol-Nam [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
LEE, Jeong-Ho [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : KO, Se-Jong; (KR).
KIM, Jung-Gwan; (KR).
YOON, Cheol-Nam; (KR).
LEE, Jeong-Ho; (KR)
Mandataire : SESHIN PATENT & LAW FIRM; 8th Fl., KFSB Bldg., 16-2 Yeoedo-dong, Yeongdeungpo-gu, Seoul 150-010 (KR)
Données relatives à la priorité :
2000/77114 15.12.2000 KR
Titre (EN) APPARATUS FOR CLEANING THE EDGES OF WAFERS
(FR) APPAREIL DESTINE A NETTOYER DES BORDS DE TRANCHES
Abrégé : front page image
(EN)The invention concerns an apparatus for cleaning the edge of a wafer that may be relatively simply constructed with low cost, and prevent the wafer from being re-contaminated by the edge cleaning, thus resulting in increase of the yield rate of wafers. The apparatus includes a cleaning agent ejection nozzle body provided on a side part of a chuck for ejecting a particulate cleaning agent (CO¿2? particles) towards the side and the edge portions of the wafer held and rotated by the chuck, and a nozzle body carriage for moving the nozzle body between rest and cleaning positions.
(FR)L'invention concerne un appareil destiné à nettoyer le bord d'une tranche et pouvant être fabriqué de manière relativement simple et à moindres frais. Cet appareil permet d'empêcher une recontamination de la tranche par nettoyage du bord, d'où une augmentation du niveau de rendement associé à cette tranche. Ledit appareil comprend un corps de buse d'éjection d'agent nettoyant disposé sur une partie latérale d'un mandrin destiné à éjecter un agent nettoyant particulaire (particules de CO¿2?) vers le côté et les parties de bord de la tranche, laquelle est retenue et mise en rotation par ce mandrin. Il comporte également un support de corps de buse destiné à déplacer ce corps de buse entre des positions de repos et de nettoyage.
États désignés : CN, JP, US.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)