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1. (WO2002048813) REGULATEUR DE PRESSION AMELIORE ET PROCEDE ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/048813    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/048013
Date de publication : 20.06.2002 Date de dépôt international : 11.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.07.2002    
CIB :
G05D 16/20 (2006.01)
Déposants : NOR-CAL PRODUCTS, INC. [US/US]; 9215 Brown Deer Road, Suite A, San Diego, CA 92121 (US) (Tous Sauf US).
KRUSE, David [US/US]; (US) (US Seulement).
BALLARD, William [US/US]; (US) (US Seulement).
VYERS, Emmanuel [FR/FR]; (US) (US Seulement).
CEDERSTAV, Per [US/US]; (US) (US Seulement).
MALLORY, Sean [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : KRUSE, David; (US).
BALLARD, William; (US).
VYERS, Emmanuel; (US).
CEDERSTAV, Per; (US).
MALLORY, Sean; (US)
Mandataire : STEINS, Karl, M.; Steins & Associates, P.C., 2333 Camino del Rio South, Suite 120, San Diego, CA 92108 (US)
Données relatives à la priorité :
09/738,194 14.12.2000 US
Titre (EN) IMPROVED PRESSURE CONTROLLER AND METHOD
(FR) REGULATEUR DE PRESSION AMELIORE ET PROCEDE ASSOCIE
Abrégé : front page image
(EN)A closed loop pressure controller system that sets, measures and controls the process pressure within a semiconductor process is shown. The system is commonly composed of a pressure sensor (22) to collect the pressure information, a controller box that hosts the control electronics, and a valve (28) to physically affect the conductivity of the inlet or outlet gas line (26) and accordingly the process pressure. The present invention differs from the prior art by using closed-loop motor control of the valve, rather than the method of the prior art, where the valve position is controlled by a stepper motor actuator driven in an open loop fashion. It is demonstrated that the utility of such prior art open-loop configurations is limited by the fact that the achievable precision of the valve position is hindered by static friction in the valve system, and the non-linear character of the torque versus shaft-angle of the motor (among other error components). The method of the present invention more accurately positions the valve, and accordingly enhances the overall precision and allowable loop-gain of the pressure control system by providing the valve drive with feedback as to the actual angular position of the valve in extremely high resolution.
(FR)L'invention concerne un système régulateur de pression en boucle fermée conçu pour régler, mesurer et réguler la pression de traitement lors d'un traitement de semi-conducteurs. Ce système comprend généralement un capteur de pression permettant de recueillir les informations concernant la pression, une boîte de commande contenant l'électronique de commande, et une valve permettant de modifier physiquement la conductivité de la conduite d'amenée ou d'évacuation de gaz et, de ce fait, la pression de traitement. Le régulateur de pression décrit dans cette invention est différent des régulateurs de pression de l'état de la technique, car il utilise la régulation par moteur en boucle fermée de la valve, au lieu d'utiliser, comme c'est le cas dans l'état de la technique, un vérin de moteur pas à pas entraîné en boucle ouverte pour réguler la position de la valve. On a démontré que l'utilité des configurations en boucle ouverte de l'état de la technique est limitée, car la précision effective de la position de la valve est entravée par le frottement statique dans le système de la valve et par la non-linéarité du rapport du couple arbre-axe du moteur (entre autres composantes d'erreur). Le procédé décrit dans cette invention permet de positionner plus précisément la valve et d'améliorer ainsi la précision générale et le gain de boucle du système de régulation de pression, puisqu'il permet au dispositif de commande de la valve une rétroaction extrêmement précise de la position angulaire courante de la valve.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)