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1. (WO2002047153) SYSTEME DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS ET PROCEDE DE TRANSFERT DE PIECES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/047153    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/010674
Date de publication : 13.06.2002 Date de dépôt international : 06.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.06.2002    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (KR only).
IIJIMA, Kiyohito [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHIZAWA, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IIJIMA, Kiyohito; (JP).
ISHIZAWA, Shigeru; (JP)
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 7-2, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-375207 08.12.2000 JP
Titre (EN) SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING WORKPIECE
(FR) SYSTEME DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS ET PROCEDE DE TRANSFERT DE PIECES
Abrégé : front page image
(EN)A semiconductor processing system has processors (24A, 24B), standby ports (36A, 36B, 36C), a common transfer mechanism (40), and a controlling section (94). The controlling section (94) processes information by means of the residual processing time and the total transfer time while a first processor that is one of the processors (24A, 24B) is processing a first workpiece. The residual processing time is the time from the completion of the processing of the first workpiece by the first processor to its readiness for unloading the first workpiece out of the first processor. The total transfer time is the time from the unloading of one workpiece out of a first standby port that is one of the standby ports (36A, 36B, 36C) to the transfer of one workpiece to the standby position for the first processor. The controlling section (94) starts the transfer of another workpiece from the first standby port to the standby position for the first processor according to the result of information processing.
(FR)L'invention concerne un système de traitement de semi-conducteurs comprenant des machines de traitement (24A, 24B), des orifices d'attente (36A, 36B, 36C), un mécanisme de transfert commun (40) et une section de commande (94). La section de commande (94) est destinée au traitement des informations de temps de traitement résiduel et de temps de transfert total pendant qu'une première machine de traitement traite une première pièce. Le temps de traitement résiduel est le temps compris entre la fin du traitement de la première pièce par la première machine de traitement et son déchargement de la première machine de traitement. Le temps de transfert total est le temps compris entre le déchargement d'une pièce d'un orifice d'attente et son transfert vers une position d'attente de la première machine de traitement. La section de commande (94) commence le transfert d'une autre pièce entre le premier orifice d'attente et la position d'attente de la première machine de traitement en fonction du résultat du traitement des informations. FIG. 1 : 94 SECTION DE COMMANDE 96 MEMOIRE A VERS 52 B VERS 60A.60B
États désignés : KR, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)