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1. (WO2002047110) APPAREIL DE PULVERISATION MAGNETRON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/047110    N° de la demande internationale :    PCT/GB2001/005360
Date de publication : 13.06.2002 Date de dépôt international : 04.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.06.2002    
CIB :
H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : TRIKON HOLDINGS LIMITED [GB/GB]; Coed Rhedyn, Ringland Way, Newport, Gwent NP18 2TA (GB) (Tous Sauf US).
GREEN, Gordon, Robert [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
TROWELL, Robert, Kenneth [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
BARRASS, Anthony, William [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
TEAGLE, Robert, William [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
MONCRIEFF, Ian [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
BURGESS, Stephen, Robert [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : GREEN, Gordon, Robert; (GB).
TROWELL, Robert, Kenneth; (GB).
BARRASS, Anthony, William; (GB).
TEAGLE, Robert, William; (GB).
MONCRIEFF, Ian; (GB).
BURGESS, Stephen, Robert; (GB)
Mandataire : DUNLOP, Brian, Kenneth, Charles; Wynne-Jones, Laine & James, 22 Rodney Road, Cheltenham, Gloucestershire GL50 1JJ (GB)
Données relatives à la priorité :
0029568.3 05.12.2000 GB
0105466.7 06.03.2001 GB
Titre (EN) MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PULVERISATION MAGNETRON
Abrégé : front page image
(EN)A magnetic assembly (15) is mounted on a lead screw (12) on one side of a sputter target (14). A further lead screw (11) carries a counter weight (16). The lead screws can be rotated by a stepper motor (13) to adjust the lateral positions of assembly (15) and weight (16). The stepper motor and hence the assembly (15), can be rotated about a vertical axis by shaft (17) and motor (18) so that a magnetic field can be swept around the target (14). The position of the assembly (15) is varied in accordance with a process characteristic.
(FR)La présente invention concerne un ensemble (15) magnétique monté sur une vis de commande (12) sur un côté d'une cible (14) de vaporisation. Une autre vis de commande (11) porte un contre poids (16). Un moteur pas à pas (13) peut faire tourner ces vis de commande de façon à régler les positions latérales de l'ensemble (15) et du poids (16). Le moteur pas à pas et par là même, l'ensemble (15) peuvent tourner autour d'un axe vertical grâce à un arbre (17) et à un moteur (18) de sorte qu'un champs magnétique puisse être balayé autour de la cible (14). On varie la position de l'ensemble (15) conformément à une caractéristique du processus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)