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1. (WO2002046691) PLAQUE CORRECTRICE MONOLITHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2002/046691 N° de la demande internationale : PCT/US2001/047472
Date de publication : 13.06.2002 Date de dépôt international : 10.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 02.07.2002
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : LEX, Robert, M.[US/US]; US (UsOnly)
CARLSON, Andrew, Eric[US/US]; US (UsOnly)
METZ, Michael[US/US]; US (UsOnly)
ZYGO CORPORATION[US/US]; 21 Laurel Brook Drive Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
Inventeurs : LEX, Robert, M.; US
CARLSON, Andrew, Eric; US
METZ, Michael; US
Mandataire : PRAHL, Eric, L.; Fish & Richardson, P.C. 255 Franklin Street Boston, MA 02110-2804, US
Données relatives à la priorité :
60/254,23508.12.2000US
Titre (EN) MONOLITHIC CORRECTOR PLATE
(FR) PLAQUE CORRECTRICE MONOLITHIQUE
Abrégé : front page image
(EN) A monolithic corrector plate (72) for an interferometer, said corrector plate includes a substrate (73) having an input face (74) for intercepting a first beam emitted by said interferometer, and an output face (76) opposite said input face. An aperture (78) integral with the substrate is configured to conform a first beam intercepted by the input face into a second beam emerging from the output face.
(FR) L'invention concerne une plaque correctrice monolithique (72) pour interféromètre, cette plaque comprenant un substrat (73) comportant une face d'entrée (74) destinée à intercepter un premier faisceau émis par l'interféromètre, et une face de sortie (76) opposée à la face d'entrée. Un orifice (78), intégré au substrat, est configuré afin de former un premier faisceau intercepté par la face d'entrée en un second faisceau émergeant par la face de sortie.
États désignés : JP, US
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)