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1. (WO2002045154) ROBOT DE TRANSFERT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRAT MINCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/045154    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/010293
Date de publication : 06.06.2002 Date de dépôt international : 26.11.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    10.06.2002    
CIB :
B25J 9/04 (2006.01), B25J 18/04 (2006.01), B25J 19/02 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI [JP/JP]; 2-1, Kurosaki-shiroishi, Yahatanishi-ku, kitakyushu-shi, Fukuoka 806-0004 (JP) (Tous Sauf US).
WAKIZAKO, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIRAISHI, Kazunari [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAGASAKI, Yukito [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MOTONAGA, Ken-ichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HINO, Kazunori [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SANEMASA, Hiroki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : WAKIZAKO, Hitoshi; (JP).
SHIRAISHI, Kazunari; (JP).
SAGASAKI, Yukito; (JP).
MOTONAGA, Ken-ichi; (JP).
HINO, Kazunori; (JP).
SANEMASA, Hiroki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-367616 01.12.2000 JP
2001-148970 18.05.2001 JP
Titre (EN) TRANSFER ROBOT AND INSPECTION METHOD FOR THIN SUBSTRATE
(FR) ROBOT DE TRANSFERT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRAT MINCE
Abrégé : front page image
(EN)A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting the stored state of thin substrates and an inspection method for thin substrate capable of accurately detecting the stored state of thin substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the robot.
(FR)L'invention concerne un robot de transfert (5) pour substrat mince capable de détecter efficacement l'état de stockage de substrats minces et un procédé d'inspection pour substrat mince capable de détecter avec précision l'état de stockage de substrats minces. Le robot (5) comprend une caméra d'inspection (1) permettant de détecter l'état stocké des substrats minces (3) stockés dans une cassette de stockage (2), lesquels substrats minces (3) sont extraits de la cassette de stockage (2) par le robot.
États désignés : CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)