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1. (WO2002044634) REFROIDISSEUR D'ELECTRODE DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/044634    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/010430
Date de publication : 06.06.2002 Date de dépôt international : 29.11.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.06.2002    
CIB :
F25B 25/00 (2006.01), F25B 45/00 (2006.01), F25D 17/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, KR, LU, MC, NL, PT, SE, TR only).
HIROOKA, Takaaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FURUYA, Masao [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIROOKA, Takaaki; (JP).
FURUYA, Masao; (JP)
Mandataire : KAMEYA, Yoshiaki; KANEMOTO, KAMEYA, HAGIWARA AND INOUE, YOTSUYA BRANCH, Daiichi Tomizawa Building, 1-3, Yotsuya 3-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-364339 30.11.2000 JP
Titre (EN) ELECTRODE COOLER OF PROCESSING DEVICE
(FR) REFROIDISSEUR D'ELECTRODE DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A cooler (110), comprising a primary refrigerant circulating circuit for controlling the temperature of an electrode by circulating, in the electrode, a primary refrigerant (CW1) with a temperature controlled by a heat exchanger (138), a secondary refrigerant circulating circuit having a first heat exchanger (141) and controlling the temperature of the primary refrigerant by feeding a secondary refrigerant (CW2) to the heat exchanger, and a refrigerant circuit (140) for controlling the temperature of the secondary refrigerant by a tertiary refrigerant, wherein the temperature of the primary refrigerant is controlled by the secondary refrigerant without controlling the temperature of the primary refrigerant in the refrigerating circuit and, when the primary refrigerant is set to a temperature higher than that of the secondary refrigerant, the temperature of the primary refrigerant is controlled by the secondary refrigerant only, whereby, only when the primary refrigerant is set to a temperature lower than that of the secondary refrigerant, an energy can be saved since the temperature of the secondary refrigerant is controlled by the refrigerant circuit.
(FR)L'invention concerne un refroidisseur (110), comprenant un circuit de circulation de frigorigène primaire pour réguler la température d'une électrode, par circulation dans l'électrode, d'un frigorigène primaire (CW1), à une température régulée par un échangeur de chaleur (138), un second circuit de circulation de frigorigène comportant un premier échangeur de chaleur (141) et pour réguler la température du frigorigène primaire par alimentation de l'échangeur de chaleur avec un deuxième frigorigène (CW2), ainsi qu'un circuit de refroidissement (140) pour réguler la température du deuxième frigorigène par un troisième frigorigène. La température du premier frigorigène est régulée par le second frigorigène, sans avoir à réguler la température du premier frigorigène dans le circuit de refroidissement. Lorsque le premier frigorigène est ajusté à une température supérieure à celle du deuxième frigorigène, la température du premier frigorigène est régulée uniquement par le deuxième frigorigène. Lorsque le premier frigorigène est ajusté à une température inférieure à celle du deuxième frigorigène, de l'énergie peut être économisée, la température du deuxième frigorigène étant régulée par le circuit de refroidissement.
États désignés : KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)