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1. (WO2002044441) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT DE DELIVRER DE MANIERE DOSEE DE PETITS DEBITS VOLUMETRIQUES DE LIQUIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/044441    N° de la demande internationale :    PCT/EP2001/013074
Date de publication : 06.06.2002 Date de dépôt international : 10.11.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.05.2002    
CIB :
C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : AIXTRON AG [DE/DE]; Kackertstrasse 15-17, 52072 Aachen (DE) (Tous Sauf US).
STRAUCH, Gerd [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
JAKOB, Markus [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LINDNER, Johannes [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : STRAUCH, Gerd; (DE).
JAKOB, Markus; (DE).
LINDNER, Johannes; (DE)
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; Corneliusstrasse 45, 42329 Wuppertal (DE)
Données relatives à la priorité :
100 59 386.0 30.11.2000 DE
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DOSIERTEN ABGABE KLEINER FLÜSSIGKEITSVOLUMENSTRÖME
(EN) METHOD AND DEVICE FOR THE METERED DELIVERY OF LOW VOLUMETRIC FLOWS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT DE DELIVRER DE MANIERE DOSEE DE PETITS DEBITS VOLUMETRIQUES DE LIQUIDE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur dosierten Abgabe kleiner Flüssigkeitsvolumenströme durch Einleiten eines Gasstromes in einen eine Flüssigkeit beinhaltenden Tank und Verdrängung der Flüssigkeit durch eine Flüssigkeitsleitung, und schlägt zur Verbsserung des Verfahrens vor, dass aus einem massenflussgeregelten Gasstrom (Q1) bei konstant gehaltenem Druck (P1), welcher im Wesentlichen dem Gasdruck (P2) im Tank (4) entspricht, ein Teilgasstrom (Q2) abgezweigt wird, welcher zur Verdrängung der Flüssigkeit in den Tank geleitet wird, wobei der Massenstrom des Teilgasstromes (2) gemessen wird, wobei durch Variation des Druckes (P1) ein Teilgasmassenstrom eingestellt wird, dessen unter Beiziehung der Gasdichte (Q1) ermittelbarer Volumenstrom dem Sollwert des Flüssigkeitsvolumenstroms (Q3) entspricht.
(EN)The invention relates to a method for the metered delivery of low volumetric flows by the introduction of a gaseous stream into a tank containing a liquid and the displacement of the liquid through a liquid conduit. To improve said method, a partial gaseous stream (Q2) is diverted from a mass-flow controlled gaseous stream (Q1), at a pressure (P1) that is maintained at a constant level and that essentially corresponds to the gaseous pressure (P2) in the tank (4), and is guided into said tank to displace the liquid, the mass flow of the partial gaseous stream (2) being measured. A variation in the pressure (P1) allows a partial gaseous mass-flow to be set, whose volumetric flow, determined by taking into consideration the gas density (Q1), corresponds to the desired value for the liquid volumetric flow (Q3).
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de délivrer de manière dosée de petits débits volumétriques de liquide, par introduction d'un flux gazeux dans un réservoir contenant un liquide et par refoulement du liquide à travers une conduite à liquide. Afin d'améliorer ce procédé, un flux gazeux partiel (Q2) est dérivé d'un flux gazeux (Q1) à débit massique régulé, à une pression (P1) qui est maintenue constante et qui correspond sensiblement à la pression gazeuse (P2) à l'intérieur du réservoir (4), puis est introduit dans le réservoir, afin de refouler le liquide, le débit massique du flux gazeux partiel (2) étant mesuré. Une variation de la pression (P1) permet de régler un débit massique gazeux partiel, dont le débit volumétrique, pouvant être déterminé en prenant en considération la densité de gaz (Q1), correspond à la valeur théorique du débit volumétrique de liquide (Q3).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)