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1. (WO2002043940) PROCEDE DE MODIFICATION ET DE CONSERVATION DES PROPRIETES DE SURFACE D'UN TAMPON DE POLISSAGE ET APPLICATIONS SPECIFIQUES ASSOCIEES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/043940    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/044175
Date de publication : 06.06.2002 Date de dépôt international : 27.11.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.07.2002    
CIB :
B24B 37/04 (2012.01), B24B 49/16 (2006.01), B24D 13/14 (2006.01), B24D 18/00 (2006.01), B24D 3/26 (2006.01), B29C 59/14 (2006.01)
Déposants : EXIGENT [US/US]; 1025 S. Semoran Boulevard, Suite 1093, Winter Park, FL 32793 (US)
Inventeurs : OBENG, Yaw, S.; (US).
YOKLEY, Edward, M.; (US)
Mandataire : GAINES, Charles, W.; Hitt Gaines & Boisbrun, P.C., P.O. Box 832570, Richardson, TX 75083 (US)
Données relatives à la priorité :
60/250,299 29.11.2000 US
60/295,315 01.06.2001 US
Titre (EN) A METHOD OF ALTERING AND PRESERVING THE SURFACE PROPERTIES OF A POLISHING PAD AND SPECIFIC APPLICATIONS THEREFOR
(FR) PROCEDE DE MODIFICATION ET DE CONSERVATION DES PROPRIETES DE SURFACE D'UN TAMPON DE POLISSAGE ET APPLICATIONS SPECIFIQUES ASSOCIEES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is directed, in general, to an improved material and method of planarizing a surface on a semiconductor wafer and, more specifically, to a method of altering the properties of polymers, preferably thermoplastic foam polymers, used in polishing applications. The chemical and mechanical properties thermoplastic foam substrates can be transformed by inorganic, inorganic-organic, and or organic-organic grafting techniques, such that the polymer foam is endowed with new set of properties that more desirable and suitable for polishing.
(FR)L'invention concerne, en général, un matériau amélioré et un procédé de planarisation d'une surface sur une plaquette de semi-conducteur et, plus particulièrement, un procédé de modification des propriétés des polymères, de préférence, des polymères en mousse thermoplastique, utilisé dans des applications de polissage. Les propriétés chimiques et mécaniques des substrats en mousse thermoplastique peuvent être transformées au moyen de techniques de greffage inorganique, inorganique-organique, et ou organique-organique, de sorte à fournir à la mousse polymère un nouvel ensemble de propriétés plus satisfaisantes et plus appropriées au polissage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)