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1. (WO2002025290) ACCELEROMETRE A CAVITE MICRO-ONDES RESONNANTE RENTRANTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/025290    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/026816
Date de publication : 28.03.2002 Date de dépôt international : 29.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    27.03.2002    
CIB :
G01P 15/097 (2006.01), G01P 15/10 (2006.01)
Déposants : THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. [US/US]; 555 Technology Square Cambridge, MA 02139 (US)
Inventeurs : BERNSTEIN, Jonathan, J.; (US).
PETROVICH, Anthony; (US)
Mandataire : KIM, Elizabeth, E.; McDermott, Will & Emery 28 State Street Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
09/650,783 30.08.2000 US
Titre (EN) REENTRANT MICROWAVE RESONANT CAVITY ACCELEROMETER
(FR) ACCELEROMETRE A CAVITE MICRO-ONDES RESONNANTE RENTRANTE
Abrégé : front page image
(EN)An improved microwave resonant cavity accelerometer (10) includes a reentrant microwave resonant cavity. Preferably, the accelerometer includes first and second complementary reentrant microwave resonant cavities (12, 13), each being characterized by a nominal resonant frequency. Each cavity (12, 13) includes a capacitive gap (36), and an inductive gap (38) surrounding each capacitive gap (36). A coupler couples to each cavity a microwave signal substantially at the nominal resonant frequency of each cavity (12, 13). In response to an acceleration force along a sensing axis (15), a proof mass (14) positioned along the sensing axis (15) differentially changes the dimensions of each cavity (12, 13) and establishes a resonant frequency for each cavity (12, 13) which varies as a function of the acceleration force. The accelerometer (10) includes means for detecting electromagnetic energy in each cavity (12, 13) and determining the frequency of the detected energy. The shift in resonant frequency is used to determine the acceleration of the proof mass (14). By using reentrant cavities (12, 13), the sensitivity of the accelerometer (10) to an acceleration of the proof mass (14) is improved by a factor of about 100 for miniaturized proof masses. The accelerometer (10) may be fabricated using micromachining techniques.
(FR)L'invention concerne un accéléromètre à cavité micro-ondes résonnante (10) amélioré comportant une cavité micro-ondes résonnante rentrante. De préférence, cet accéléromètre comprend des première et seconde cavités micro-ondes résonnantes rentrantes complémentaires (12, 13), caractérisées chacune par une fréquence de résonance nominale. Chaque cavité (12, 13) comprend un espace capacitif (36), et un espace inductif (38) entourant chaque espace capacitif (36). Un coupleur associe à chaque cavité un signal micro-ondes sensiblement au niveau de la fréquence de résonance nominale de chaque cavité (12, 13). En réponse à une force d'accélération le long d'un axe de détection (15), une masse de preuve (14) placée le long de l'axe de détection (15) modifie de manière différentielle les dimensions de chaque cavité (12, 13) et établit pour chacune d'elle une fréquence de résonance qui varie en fonction de la force d'accélération. Cet accéléromètre (10) comprend un moyen permettant de détecter l'énergie électromagnétique dans chaque cavité (12, 13) et de déterminer ensuite la fréquence de l'énergie détectée. Le décalage de la fréquence de résonance est utilisé pour déterminer l'accélération de la masse de preuve (14). En utilisant les cavités rentrantes (12, 13), on améliore la sensibilité de l'accéléromètre (10) à la masse d'épreuve (14) par un facteur d'environ 100 pour les masses d'épreuves miniatures. Par ailleurs, on peut fabriquer cet accéléromètre (10) par des techniques de micro-usinage.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)