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1. (WO2002024983) SEPARATEUR DE PHASES INTEGRE POUR SYSTEME A ULTRAVIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/024983    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/029685
Date de publication : 28.03.2002 Date de dépôt international : 21.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.04.2002    
CIB :
C30B 23/02 (2006.01), F04B 37/08 (2006.01)
Déposants : APPLIED EPI, INC. [US/US]; 4900 Constellation Drive St. Paul, MN 55127 (US)
Inventeurs : COLOMBO, Paul, E.; (US)
Mandataire : BRUESS, Steven, C.; Merchant & Gould P.C. P.O. Box 2903 Minneapolis, MN 55402-0903 (US)
Données relatives à la priorité :
09/668,772 22.09.2000 US
Titre (EN) INTEGRATED PHASE SEPARATOR FOR ULTRA HIGH VACUUM SYSTEM
(FR) SEPARATEUR DE PHASES INTEGRE POUR SYSTEME A ULTRAVIDE
Abrégé : front page image
(EN)An integrated phase separator for use in an ultra high vacuum system, for example, a molecular beam epitaxy system, is described. The vacuum chamber has a cryogenic panel disposed therein. The cryogenic panel includes a cryogenic shroud region and a phase separator region. Liquid nitrogen is introduced into the cryogenic panel via an inlet line. As the liquid nitrogen warms and vaporizes, nitrogen vapor rises within the shroud. The phase separator region within the cryogenic panel provides a near atmospheric pressure vapor barrier over the liquid nitrogen so that the nitrogen vapor may escape smoothly through the outlet of the panel, without forming gas bursts. Also, the phase separator region is vacuum jacketed to prevent cryogenic shroud surface temperature changes due to variations in liquid nitrogen levels, thereby increasing the cryogenic shroud's pumping stability.
(FR)L'invention concerne un séparateur de phase intégrée destiné à un système à ultravide, par exemple, un système d'épitaxie par jets moléculaires. Un panneau cryogénique est disposé dans la chambre à vide. Ce panneau cryogénique comporte une zone de protection cryogénique et une zone de séparation de phases. De l'azote liquide est introduit dans le panneau cryogénique via une conduite d'aspiration. Lorsque que l'azote liquide se réchauffe et s'évapore, la vapeur d'azote s'élève dans la zone de protection. Dans le panneau cryogénique, la zone de séparation de phases forme une barrière anti-vapeur à pression quasi-atmosphérique par-dessus l'azote liquide de sorte que la vapeur d'azote peut s'échapper doucement par l'orifice de sortie du panneau, sans provoquer de bullage. En outre, la zone de séparation de phases est enveloppée avec du vide isolant afin de prévenir les changements de température de la surface de la zone de protection cryogénique en raison des variations des niveaux d'azote liquide, ce qui a pour effet de renforcer la stabilité de pompage de la zone de protection cryogénique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)