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1. (WO2002024466) STRUCTURES POLYMERES INDEPENDANTES POUR SYSTEMES MECANIQUES MICROELECTRIQUES, DOTEES DE PROPRIETES D'ANTI-FROTTTEMENT PAR ADHERENCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/024466    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/030243
Date de publication : 28.03.2002 Date de dépôt international : 25.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.04.2002    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Déposants : CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 1200 East California Boulevard Mail Code 210-85 Pasadena, CA 91125 (US) (Tous Sauf US).
TAI, Yu, Chong [US/US]; (US) (US Seulement).
YAO, Tze-Jung [US/US]; (US) (US Seulement).
YANG, Xing [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : TAI, Yu, Chong; (US).
YAO, Tze-Jung; (US).
YANG, Xing; (US)
Mandataire : HARRIS, Scott, C.; Fish & Richardson P.C. Suite 500 4350 La Jolla Village Drive San Diego, CA 92122 (US)
Données relatives à la priorité :
60/235,384 25.09.2000 US
Titre (EN) FREESTANDING POLYMER MEMS STRUCTURES WITH ANTI STICTION
(FR) STRUCTURES POLYMERES INDEPENDANTES POUR SYSTEMES MECANIQUES MICROELECTRIQUES, DOTEES DE PROPRIETES D'ANTI-FROTTTEMENT PAR ADHERENCE
Abrégé : front page image
(EN)An anti stiction structure for cantilever formation technique. In one embodiment, the cantilever (130) includes downwardly extending plurality of legs (131 and 132) which preventing the substrate (100) from sticking to the cantilever. In another embodiment, the polymer cantilever (215) is prevented from sticking to the substrate (200) by at amortized stick layer (205) on the substrate and during the formation of the cantilever, the stick layer is removed later as a sacrificial layer.
(FR)Cette invention a trait à une structure dotée de propriétés d'anti-frottement par adhérence aux fins de la formation de porte-à-faux. Dans un mode de réalisation, le porte-à-faux (130) possède plusieurs bras s'étendant vers le bas (131 and 132), lesquels bras empêchent que le substrat (100) ne se colle au porte-à-faux. Dans un autre mode de réalisation, on évite que le porte-à-faux polymère (215) ne vienne se coller au substrat (200) en utilisant une couche collante amortie (205) déposée sur le substrat et ce, durant la formation du porte-à-faux, cette couche collante, en l'occurrence une couche sacrificielle, étant retirée par la suite.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)