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1. (WO2002023581) APPAREIL POUR INSPECTION DE MASQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023581    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/000979
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 13.02.2001
CIB :
G01N 23/04 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/26 (2006.01), G03F 1/00 (2012.01)
Déposants : HOLON CO.,LTD [JP/JP]; 2-1, Shinjuku 2-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP) (Tous Sauf US).
ITO, Minoru [JP/JP]; (JP).
ANAZAWA, Norimichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ITO, Minoru; (JP).
ANAZAWA, Norimichi; (JP)
Mandataire : OKADA, Morihiro; 21-20-603, Taira-machi 1-chome Meguro-ku, Tokyo 152-0032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000/281685 18.09.2000 JP
2000/360924 28.11.2000 JP
Titre (EN) APPARATUS FOR INSPECTING MASK
(FR) APPAREIL POUR INSPECTION DE MASQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam passed through a mask (1) is sensed using a sensor (9) comprising a plurality of elements arranged in a plurality of lines, and an image signal is transferred on the sensor in synchronism with the movement of the mask, thus realizing high resolution, high speed mask inspection using an electron beam. For pixels along the line of the sensor, simultaneous sensing is conducted, and image signal are transferred synchronously in the direction perpendicular to the line, thus inspecting the mask at high speed with high resolution. An image can be generated with an extremely high accuracy by linear scanning with no zig-zag scanning using a stage (2) of simple structure.
(FR)Un faisceau d'électrons passé à travers un masque (1) est détecté à l'aide d'un détecteur (9) comprenant une pluralité d'éléments agencés en une pluralité de lignes, et un signal d'image est transféré sur le détecteur en synchronisme avec le mouvement du masque, exécutant ainsi une inspection de masque à haute résolution et haute vitesse à l'aide d'un faisceau d'électrons. Pour les pixels se trouvant le long de la ligne du détecteur, une détection simultanée est effectuée, et des signaux d'images sont transférés de manière synchrone dans le sens perpendiculaire à la ligne, inspectant ainsi le masque à grande vitesse avec une haute résolution. Une image peut être générée avec une précision extrêmement élevée par un balayage linéaire sans balayage en zigzag à l'aide d'une platine (2) de structure simple.
États désignés : DE, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)