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1. (WO2002023172) DISPOSITIF D'INSPECTION OPTIQUE DE LA SURFACE D'UN OBJET A LA RECHERCHE DE DEFAUTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023172    N° de la demande internationale :    PCT/DE2001/003075
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 10.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.02.2002    
CIB :
G01N 21/95 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, 80333 München (DE) (Tous Sauf US).
GERHARD, Detlef [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : GERHARD, Detlef; (DE)
Représentant
commun :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, 80506 München (DE)
Données relatives à la priorité :
100 45 245.0 13.09.2000 DE
Titre (DE) EINRICHTUNG FÜR OPTISCHE INSPEKTION EINER AUF DEFEKTE HIN ZU PRÜFENDEN OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS
(EN) DEVICE FOR THE OPTICAL INSPECTION OF AN OBJECT SURFACE THAT IS TO BE CHECKED FOR DEFECTS
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION OPTIQUE DE LA SURFACE D'UN OBJET A LA RECHERCHE DE DEFAUTS
Abrégé : front page image
(DE)Einrichtung (1) für optische Inspektion einer Oberfläche eines Objekts (10) mit einer Zeilenkamera (5) und mit einem der Mikroskopoptik (2) zugeordneten Beleuchtungssystem mit lasernaher Strahlung.
(EN)The invention relates to a device (1) for optically inspecting a surface of an object (10), comprising a line camera (5) and an illuminating system with near-laser radiation which is allocated to the microscope lens system (2).
(FR)Dispositif (1) d'inspection optique d'une surface d'un objet (10) qui comporte une caméra à balayage en ligne (5) et un système d'éclairage, à rayonnement proche du laser, associé à l'objectif (2) du microscope.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)