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1. (WO2002023160) MONITEUR DE SPECTROSCOPIE D'EMISSION A LUEUR DE POST-DECHARGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023160    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/028271
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 10.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.04.2002    
CIB :
G01N 21/68 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : METTES, Jacob [US/US]; (US)
Inventeurs : METTES, Jacob; (US)
Données relatives à la priorité :
60/231,588 11.09.2000 US
60/266,763 05.02.2001 US
Titre (EN) AFTERGLOW EMISSION SPECTROSCOPY MONITOR
(FR) MONITEUR DE SPECTROSCOPIE D'EMISSION A LUEUR DE POST-DECHARGE
Abrégé : front page image
(EN)Afterglow spectroscopy allows observing light emission of gaseous species in absence of direct plasma light. This absence avoids the creation of a background sprectrum obscuring weak emission from trace species. The geometry of the invention prevents direct plasma light (3) from reaching the observation window (10) while a lens (10) focues afterglow emission light on the entrance of a photo multiplier (11). The invention describes a flowing afterglow version monitoring in-situ the cleanup of vacuum tools during pump/purge cycles. The invention also describes an intermittent afterflow version siutable for trace gas analysis at atmospheric pressure.
(FR)La spectroscopie à lueur de post-décharge permet d'observer l'émission lumineuse d'espèces gazeuses en l'absence de lumière plasma directe, cette absence évitant la création d'un spectre d'arrière-plan occultant l'émission faible d'espèces à l'état de traces. La géométrie de l'invention empêche la lumière plasma directe (3) d'atteindre la fenêtre d'observation (10), tandis qu'une lentille (10) concentre la lumière d'émission à lueur de post-décharge sur l'entrée d'un photomultiplicateur (11). L'invention concerne une version de lueur de post-décharge s'écoulant, cette version surveillant sur place le nettoyage du matériel de mise sous vide pendant les cycles de pompage/purge. L'invention concerne également une version d'une lueur de post-décharge intermittente, conçue pour l'analyse de gaz à l'état de traces, à pression atmosphérique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)