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1. (WO2002023132) DISPOSITIF DE MESURE DE DEPLACEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023132    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/006326
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 14.09.2000
CIB :
G01D 5/38 (2006.01)
Déposants : CITIZEN WATCH CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Nishi-shinjuku 2-chome Shinjuku-ku, Tokyo 163-0428 (JP) (Tous Sauf US).
MATSUMOTO, Kenji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MATSUMOTO, Kenji; (JP)
Mandataire : ISHIDA, Takashi; A. Aoki, Ishida & Associates Toranomon 37 Mori Bldg. 5-1, Toranomon 3-chome Minato-ku Tokyo 105-8423 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DISPLACEMENT MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE DEPLACEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A displacement measuring device which detects the displacement of an object to be measured using a scale moving in conjunction with the object, and which is reduced in costs by using fewer component parts in an optical system, wherein a luminous flux emitted from a coherent light source represented by a laser diode is branched into two luminous fluxes, a transmitted light and a diffracted light, or a regular reflection light and reflection diffracted light, by a diffraction lattice engraved in a direction perpendicular to a scale moving direction. A liquid crystal device for performing phase modulation to provide a desired phase difference between the luminous fluxes is inserted in one of the optical paths of the two luminous fluxes, one of the two luminous fluxes passes through the liquid crystal device while the other directly advances, and they are reflected off reflection mirrors provided at the ends of respective optical paths for re-entry into the incident point of the diffraction lattice. The two re-entered luminous fluxes are re-synthesized at the diffraction lattice to shine on a photoelectric conversion member as an interference light to thereby measure the displacement of the diffraction lattice by a plurality of output signals from the conversion member. The device construction is simple because no polarization separating element nor polarizer is needed.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure de déplacement détectant le déplacement d'un objet à mesurer au moyen d'une échelle se déplaçant conjointement avec l'objet. Un tel dispositif présente des coûts réduits du fait qu'il met en oeuvre moins de parties de composants dans un système optique et est caractérisé en ce qu'un flux lumineux émis à partir d'une source lumineuse cohérente représentée par une diode laser est divisée en deux flux lumineux, un rayonnement émis et un rayonnement diffracté, ou un rayonnement de réflexion normal et un rayonnement de réflexion diffracté, par un réseau de diffraction gravé dans une direction perpendiculaire à la direction de déplacement de l'échelle. Un dispositif à cristaux liquides destiné à effectuer une modulation de phase conférant une différence de phase souhaitée entre les flux lumineux est introduit dans un des trajets optiques des deux flux lumineux, un de ceux-ci passant à travers le dispositif à cristaux liquides pendant que l'autre avance directement et ces flux étant réfléchis par des miroirs de réflexion placés aux extrémités des trajets optiques respectifs, aux fins de ré-entrée dans le point incident du réseau de diffraction. Les deux flux lumineux re-entrés sont resynthétisés au niveau du réseau de diffraction, de manière à briller sur un élément de conversion photoélectrique comme rayonnement d'interférence, mesurant ainsi le déplacement du réseau de diffraction au moyen d'une pluralité de signaux de sortie provenant d'un élément de conversion. La construction du dispositif est simple du fait qu'un élément de séparation de polarisation ou un polariseur ne sont pas nécessaires.
États désignés : JP, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)