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1. (WO2002023109) ENSEMBLE LAMPE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023109    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/042178
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 11.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.04.2002    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H05B 3/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : DEACON, Thomas, E.; (US).
ANDERSON, Roger, N.; (US).
CARLSON, David, K.; (US).
COMITA, Paul; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 12400 Wilshire Boulevard, 7th floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/660,565 12.09.2000 US
Titre (EN) LAMP ARRAY FOR THERMAL PROCESSING CHAMBER
(FR) ENSEMBLE LAMPE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A lamp array (12) for a thermal processing chamber. The lamp array includes a plurality of lamps arranged in a generally circular array (202). The plurality of lamps can be arranged in one or more concentric rings (440) to form a generally circular array (202). Additional lamp arrays (632) can be provided adjacent the circumference of the circular pattern. At least one row of lamps (734) can be provided tangentially to the circular portion of the lamp array to provide preheating or postheating of process gases in the flow direction of a rectangular chamber.
(FR)Ensemble lampe (102) conçu pour une chambre de traitement thermique. Cet ensemble comprend une pluralité de lampes disposées en groupement généralement circulaire (202). On peut placer cette pluralité de lampes en un ou plusieurs anneaux concentriques (440), de façon à créer un ensemble circulaire (202). On peut placer des groupements de lampes supplémentaires (632) en position contiguë à la circonférence de la configuration circulaire. Au moins une rangée de lampes (734) peut être située sur la partie tangente à la partie circulaire de l'ensemble lampe, ce qui permet d'effectuer le réchauffement postérieur ou préalable des gaz de traitement dans le sens d'écoulement d'une chambre rectangulaire.
États désignés : CN, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)