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1. (WO2002022915) CELLULE MODULAIRE AMOVIBLE POUR DEPOT ELECTROLYTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/022915    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/028655
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 13.09.2001
CIB :
C25D 7/12 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : OLGADO, Donald, J., K.; (US)
Mandataire : PATTERSON, William, B.; Moser, Patterson & Sheridan, LLP, 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
09/663,814 15.09.2000 US
Titre (EN) REMOVABLE MODULAR CELL FOR ELECTRO-CHEMICAL PLATING
(FR) CELLULE MODULAIRE AMOVIBLE POUR DEPOT ELECTROLYTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a method and apparatus for depositing metal on a substrate. More particularly, one embodiment of the metal deposition cell comprising a cell base, an anode, and a cell top. The cell base at least partially defines an interior recess. The anode mounted within the interior recess to the cell base. The cell top is removably mounted to the cell base. In one embodiment, a method of removing a modular metal deposition cell from a deposition cell mount is provided. The modular metal deposition cell comprises a cell top and a cell bottom. The method comprises:unfastening a fastener that secures the cell top to the cell bottom, and also fastens the cell top and the cell bottom to the deposition cell mount. The cell top or the cell bottom are then removed from the deposition cell mount.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil servant à effectuer un dépôt métallique sur un substrat. Elle concerne plus particulièrement une forme de réalisation dans laquelle la cellule de dépôt métallique comprend une base de la cellule, une anode et une partie supérieure de la cellule. La base de la cellule délimite au moins partiellement un logement intérieur. L'anode est fixée à la base de la cellule par le logement intérieur. La partie supérieure de la cellule est montée amovible sur la base de la cellule. Dans une forme de réalisation, on décrit un procédé d'extraction d'une cellule de dépôt métallique modulaire d'un assemblage de cellule électrolytique. La cellule de dépôt métallique modulaire présente une partie supérieure de la cellule et une base de la cellule. Le procédé consiste à défaire une attache fixant la partie supérieure de la cellule à la base de la cellule; puis à fixer la partie supérieure de la cellule et la base de la cellule à l'assemblage de cellule électrolytique. La partie supérieure de la cellule ou la base de la cellule est ensuite retirée de l'assemblage de cellule électrolytique.
États désignés : CN, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)