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1. (WO2002022492) APPAREIL A SOUPAPE ELECTROSTATIQUE A MEMBRANE SOUPLE MICROELECTROMECANIQUE ET PROCEDES DE FABRICATION ASSOCIES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/022492    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/028608
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 14.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.04.2002    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), F15C 5/00 (2006.01)
Déposants : MCNC [US/US]; 3021 Cornwallis Road, P.O. Box 12889, Research Triangle Park, NC 27709 (US) (Tous Sauf US).
GOODWIN-JOHANSSON, Scott, H. [US/US]; (US) (US Seulement).
MCGUIRE, Gary, E. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GOODWIN-JOHANSSON, Scott, H.; (US).
MCGUIRE, Gary, E.; (US)
Mandataire : EDWARDS, James, C.; Alston & Bird LLP, Suite 4000, Bank of America Plaza, 101 South Tryon Street, Charlotte, NC 28280-4000 (US)
Données relatives à la priorité :
09/661,997 14.09.2000 US
Titre (EN) MICROELECTROMECHANICAL FLEXIBLE MEMBRANE ELECTROSTATIC VALVE DEVICE AND RELATED FABRICATION METHODS
(FR) APPAREIL A SOUPAPE ELECTROSTATIQUE A MEMBRANE SOUPLE MICROELECTROMECANIQUE ET PROCEDES DE FABRICATION ASSOCIES
Abrégé : front page image
(EN)A MEMS valve device driven by electrostatic forces is provided. The MEMS valve device includes a substrate having an aperture formed therein, a substrate electrode, a moveable membrane that overlies the aperture and has an electrode element and a biasing element. Additionally, at least one resiliently compressible dielectric layer is provided to insure electrical isolation between the substrate electrode and electrode element of the moveable membrane. In operation, a voltage differential is established between the substrate electrode and the electrode element of the moveable membrane to move the membrane relative to the aperture to thereby controllably adjust the portion of the aperture that is covered by the membrane. In another embodiment the resiliently compressible dielectric layer(s) have a textured surface; either at the valve seat, the valve seal or at both surfaces. In another embodiment of the invention a pressure-relieving aperture is defined within the substrate and is positioned to underlie the moveable membrane.
(FR)L'invention concerne un appareil à soupape MEMS (Système MicroElectroMécanique) commandé par des forces électrostatiques. Cet appareil à soupape peut être actionné rapidement, possède une grande force de soupape et permet de grands déplacements, tout en utilisant une puissance minimale. Cet appareil à soupape MEMS est composé d'un substrat doté d'une ouverture formée dedans, d'une électrode de substrat, d'une membrane mobile recouvrant l'ouverture, d'un élément d'électrode et d'un élément de polarisation. De plus, au moins une couche diélectrique comprimable de manière résiliante peut servir à garantir l'isolation électrique entre l'électrode du substrat et l'élément d'électrode de la membrane mobile. En cours de fonctionnement, on établit un différentiel de tension entre l'électrode du substrat et l'élément d'électrode de la membrane mobile, afin de déplacer la membrane par rapport à l'ouverture et d'ajuster ainsi de manière contrôlée la partie de l'ouverture couverte par la membrane. D'autres modes de réalisation présentent une couche diélectrique comprimable de manière résiliante à former, soit sur l'électrode du substrat, soit à la fois sur celle-ci et sur la membrane mobile et fournissent à l'un des deux ou au deux la surface de siège de soupape et la surface de joint de soupape. Selon un mode de réalisation encore différent, la ou les couche(s) diélectrique(s) comprimable(s) de manière résiliante présentent une surface granulée, soit au niveau du siège de soupape, du joint de soupape ou encore sur les deux surfaces. Selon un autre mode de réalisation, une ouverture de libération de la pression est définie à l'intérieur du substrat et se trouve placée de manière à soutenir la membrane mobile. Par ailleurs, d'autres modes de réalisation présentent des réseaux de soupape MEMS commandés par des forces électrostatiques. Le réseau de soupape MEMS comprend un substrat pourvu de plusieurs ouvertures définies dedans. L'invention concerne également un procédé de fabrication de cet appareil à soupape MEMS.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)