WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002022321) APPAREIL DE REGLAGE D'UN ROBOT A PLUSIEURS LAMELLES ET PROCEDE AFFERENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/022321    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/029004
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 17.09.2001
CIB :
B25J 9/16 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : OLGADO, Donald, J., K.; (US).
TEPMAN, Avi; (US).
FRANKLIN, Timothy, J.; (US)
Mandataire : PATTERSON, William, B.; Moser, Patterson & Sheridan, LLP 3040 Post Oak Blvd. Suite 1500 Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
09/664,607 18.09.2000 US
Titre (EN) MULTIPLE BLADE ROBOT ADJUSTMENT APPARATUS AND ASSOCIATED METHOD
(FR) APPAREIL DE REGLAGE D'UN ROBOT A PLUSIEURS LAMELLES ET PROCEDE AFFERENT
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides an apparatus and associated method in which the apparatus comprises a multiple blade robot and a compensating device. The multiple blade robot includes at least one set of robot blades. The compensating device adjusts for differences in spacing between the set of robot blades and spacing between two or more cells. In different embodiments, the compensating device may be coupled to one or more of the process cells, one or more of the substrate holder systems, or one or more of the robot blades.
(FR)Cette invention a trait à un appareil pourvu d'un robot à plusieurs lamelles et d'un dispositif compensateur ainsi qu'au procédé afférent. Ce robot est pourvu d'au moins un ensemble de lamelles. Le dispositif compensateur corrige les différences d'espacement entre l'ensemble de lamelles ainsi que les différences d'espacement existant entre deux ou plusieurs cellules. Dans d'autres modes de réalisation de l'invention, le dispositif compensateur peut être couplé à une ou à plusieurs cellules de traitement, à un ou plusieurs systèmes de maintien de substrats ainsi qu'à une ou plusieurs lamelles.
États désignés : JP, KR.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)