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1. (WO2002021589) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/021589    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/007737
Date de publication : 14.03.2002 Date de dépôt international : 06.09.2001
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 151-0072 (JP) (Tous Sauf US).
MARUYAMA, Norio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOKOI, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TANIGUCHI, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MARUYAMA, Norio; (JP).
YOKOI, Daisuke; (JP).
MORI, Yasuo; (JP).
TANIGUCHI, Yoshihisa; (JP)
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 7-2, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-270330 06.09.2000 JP
2000-280883 14.09.2000 JP
2000-285640 20.09.2000 JP
2000-285988 20.09.2000 JP
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSPORTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)A substrate transporting device (20) easily changeable according to the types of device layout specifications, wherein a loader part (21) and a macro inspecting and transporting part (22) are formed separately from each other and the loader part (21) can be disposed on the left side or on the rear side of the mcro inspecting and transporting part (22) as viewed from the front side thereof.
(FR)L'invention concerne un dispositif de transport de substrat (20) facilement remplaçable selon les spécifications de configuration de dispositif. Une unité de chargement (21) et une macro-unité d'inspection et de transport (22) sont formées séparément l'une de l'autre. Vu de devant, l'unité de chargement (21) peut être disposée sur le côté gauche ou sur le côté arrière de la macro-unité d'inspection et de transport (22).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)