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1. (WO2002021580) ENCEINTE PORTATIVE DESTINE AU TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/021580    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/026832
Date de publication : 14.03.2002 Date de dépôt international : 27.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.03.2002    
CIB :
B60P 3/14 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : WAFERMASTERS, INC. [US/US]; 246 East Gish Road San Jose, CA 95112 (US)
Inventeurs : YOO, Woo, Sik; (US).
YAMAZAKI, Taro; (US)
Mandataire : LOPEZ, Theodore, P.; Skjerven Morrill MacPherson LLP 25 Metro Drive Suite 700 San Jose, CA 95110 (US)
Données relatives à la priorité :
09/653,920 01.09.2000 US
Titre (EN) PORTABLE ENCLOSURE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
(FR) ENCEINTE PORTATIVE DESTINE AU TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for using a portable enclosure system for conducting on-site demonstrations of semiconductor processing operations or as a temporary clean room. A vehicle transports an environmentally-controlled enclosure including a semiconductor processing workspace, preparation area, and entrance area, from a first location to a second location. An air suspension device and trailer are included in one embodiment. Air suspension devices and an enclosed truck are included in another embodiment. In yet another embodiment, the environmentally-controlled enclosure system includes a viewing mechanism, which allows for visual inspection of the internal portion of the enclosure from outside of the controlled environment, especially advantageous during demonstrations.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé d'utilisation d'un système d'enceinte portative, destiné à effectuer sur place des démonstrations d'opérations de traitement de semi-conducteurs ou à servir de salle blanche temporaire. Un véhicule transporte d'un premier emplacement à un second emplacement une enceinte à environnement contrôlé dotée d'une zone de travail de traitement de semi-conducteurs, d'une zone de préparation et d'une zone d'entrée. Dans un mode de réalisation, un dispositif à suspension pneumatique et une remorque sont utilisés, ou des dispositifs à suspension pneumatique et un camion enfermé. Dans un autre mode de réalisation encore, le système d'enceinte à environnement contrôlé comprend un mécanisme de visualisation qui permet une inspection visuelle de la partie intérieure de l'enceinte depuis l'extérieur de l'environnement contrôlé, particulièrement avantageux au cours des démonstrations.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)