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1. (WO2002021567) REACTEUR A GAZ AMELIORE GRACE AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/021567    N° de la demande internationale :    PCT/GB2001/003767
Date de publication : 14.03.2002 Date de dépôt international : 22.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.01.2002    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : ACCENTUS PLC [GB/GB]; 329 Harwell Didcot Oxfordshire OX11 0QJ (GB) (Tous Sauf US).
KING, Robert, Francis [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
HARTE, Martin [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
STEDMAN, John [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
HALL, Stephen, Ivor [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : KING, Robert, Francis; (GB).
HARTE, Martin; (GB).
STEDMAN, John; (GB).
HALL, Stephen, Ivor; (GB)
Mandataire : LOFTING, Marcus, John; Accentus plc Patents Dept. 329 Harwell Didcot Oxfordshire OX11 0QJ (GB)
Données relatives à la priorité :
0021815.6 06.09.2000 GB
Titre (EN) PLASMA ENHANCED GAS REACTOR
(FR) REACTEUR A GAZ AMELIORE GRACE AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A reaction chamber (12, 49) is adapted to be coupled to a source of microwave radiation. A pair of opposed field enhancing electrodes (18, 21; 62, 63) concentrate microwave energy so as to form plasma in a localised region between the electrodes. Gas passages are arranged for passing a gaseous medium into and out of the chamber so that the gaseous medium passes through the said localised region of plasma. The electrodes comprise electrically conducting tubes (18, 21; 62, 63) held in electrode holders (17, 19; 53, 54) located in the chamber wall, the electrode tubes being removable and replaceable from outside of the apparatus.
(FR)L'invention concerne une chambre de réaction (12, 49) adaptée pour être couplée à une source de rayonnement micro-ondes. Une paire d'électrodes de renforcement à champs opposés (18, 21; 62, 63) concentre de l'énergie micro-ondes, de manière à générer du plasma dans une zone située entre les électrodes. Les passages gazeux sont disposés afin de permettre le passage d'un milieu gazeux à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre, de manière à ce que ledit milieu gazeux traverse la zone de plasma suscitée. Les électrodes comportent des tubes électriquement conducteurs (18, 21; 62, 63) maintenus dans des porte-électrodes (17, 19; 53, 54) et placés dans la paroi de la chambre. Ces tubes d'électrodes sont amovibles et remplaçables de l'extérieur de l'appareil.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)