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1. (WO2002017482) RESONATEUR MICROMECANIQUE ET DISPOSITIF MICROMECANIQUE METTANT CE RESONATEUR EN APPLICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/017482    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/041876
Date de publication : 28.02.2002 Date de dépôt international : 24.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.02.2002    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), H03H 3/007 (2006.01), H03H 3/013 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01), H03H 9/24 (2006.01), H03H 9/46 (2006.01), H03H 9/50 (2006.01)
Déposants : THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN [US/US]; 3003 S. State Street Ann Arbor, MI 48109 (US) (Tous Sauf US).
CLARK, John, R. [US/US]; (US) (US Seulement).
NGUYEN, Clark, T.-C. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CLARK, John, R.; (US).
NGUYEN, Clark, T.-C.; (US)
Mandataire : SYROWIK, David, R.; Brooks & Kushman Twenty-Second Floor 1000 Town Center Southfield, MI 48075 (US)
Données relatives à la priorité :
60/227,505 24.08.2000 US
60/227,507 24.08.2000 US
Titre (EN) MICROMECHANICAL RESONATOR AND FILTER USING THE SAME
(FR) RESONATEUR MICROMECANIQUE ET DISPOSITIF MICROMECANIQUE METTANT CE RESONATEUR EN APPLICATION
Abrégé : front page image
(EN)A micromechanical resonator device and a micromechanical filter utilizing the same are disclosed based upon a radially or laterally vibrating disk structure and capable of vibrating at frequencies well past the GHz range. The center of the disk is a resonating nodal point, so when the disk resonator is supported at its center, anchor dissipation to the substrate is minimized, allowing this design to retain high-Q at high frequency. In addition, this design retains high stiffness at high frequencies and so maximizes dynamic range. Furthermore, the sidewall surface area of this disk resonator is often larger than that attainable in previous flexural-mode resonator designs, allowing this disk design to achieve a smaller series motional resistance than its counterparts when using capacitive (or electrostatic) transduction at a given frequency. Capacitive detection is not required in this design, and piezoelectric, magnetostrictive, etc. detection are also possible. The frequency and dynamic range attainable by this resonator makes it applicable to high-Q RF filtering and oscillator applications in a wide variety of communication systems. Its size also makes it particularly suited for portable, wireless applications, where, if used in large numbers, such a resonator can greatly lower the power consumption, increase robustness, and extend the range of application of high performance wireless transceivers.
(FR)Résonateur micromécanique et dispositif micromécanique mettant ce dernier en application, ces dispositifs étant basés sur une structure sous forme de disque soumise à des vibrations radiales ou latérales et capables de vibrer à des fréquences bien au-delà de la plage GHz. Le centre de ce disque est un point nodal, ce qui permet de minimiser la dissipation d'ancrage au substrat quand le résonateur est supporté par son centre et de conserver un facteur de qualité Q élevé à haute fréquence. De plus, cette conception permet de conserver une rigidité élevée à des fréquences élevées et, de ce fait, optimise la plage dynamique. De plus, la surface de parois latérales de ce résonateur est souvent plus fortement dimensionnée que celles des résonateurs précédents en mode de flexure, ce qui confère à ce disque une résistance au mouvement sur des séries plus petites que les séries précédentes quand on utilise une transduction capacitive (ou électrostatique) à une fréquence donnée. Ce dispositif ne nécessite pas de détection capacitive et une détection piézo-électrique ou magnétostrictive est également possible. La fréquence et la plage dynamique que peut atteindre ce résonateur permet de l'utiliser en filtration radiofréquence de facteur Q élevé et en tant qu'oscillateur dans une variété importante de systèmes de communication. Sa dimension le rend également tout à fait approprié à des mises en application portables et sans fil, dans lesquelles, si on l'utilise en nombres importants, ce résonateur peut considérablement diminuer la consommation électrique, augmenter la robustesse et élargir le domaine d'utilisation d'émetteurs-récepteurs radiaux de capacité élevée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)