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1. (WO2002015256) CAPTEUR MICRO-USINE AVEC PROTECTION ISOLANTE DES CONNEXIONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2002/015256 N° de la demande internationale : PCT/FR2001/002567
Date de publication : 21.02.2002 Date de dépôt international : 07.08.2001
CIB :
H01L 21/60 (2006.01) ,H01L 23/49 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
50
Assemblage de dispositifs à semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par l'un uniquement des groupes H01L21/06-H01L21/326185
60
Fixation des fils de connexion ou d'autres pièces conductrices, devant servir à conduire le courant vers le ou hors du dispositif pendant son fonctionnement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
23
Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
48
Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
488
formées de structures soudées
49
du type fils de connexion
Déposants : LEVERRIER, Bertrand[FR/FR]; FR (UsOnly)
BRUNI-MARCHIONNI, Marie-Dominique[FR/FR]; FR (UsOnly)
THALES[FR/FR]; 173, boulevard Haussmann F-75008 Paris, FR (AllExceptUS)
Inventeurs : LEVERRIER, Bertrand; FR
BRUNI-MARCHIONNI, Marie-Dominique; FR
Mandataire : BEYLOT, Jacques ; Thales Intellectual Property 13, avenue du Président Salvador Allende F-94117 Arcueil Cedex, FR
Données relatives à la priorité :
00/1058111.08.2000FR
Titre (EN) MICROMACHINED SENSOR WITH INSULATING PROTECTION OF CONNECTIONS
(FR) CAPTEUR MICRO-USINE AVEC PROTECTION ISOLANTE DES CONNEXIONS
Abrégé :
(EN) The invention concerns sensors of physical quantities such as pressure or acceleration sensors, and more precisely the mounting of the sensor active part on a base (30) bearing connection pins (32). The invention is characterised in that it consists in preparing an active part of the sensor, consisting for example of micromachined silicon wafers (10, 12) bearing electronic elements, electrical conductors, and bond pads (22); likewise preparing a base (30) provided with pins (32) and electrically connecting the bond pads (22) to the pin ends with conductive elements (wires 40); then in immersing the wafer and the pin ends in an electrolytic solution, so as to perform an electrolytic plating of conductive metal (42) on the pin ends, the pads and the conductor elements connecting them; finally oxidizing and nitriding said metal to form an insulating coat (44) on the ends of the connection pins, the pads and the conductive elements connecting them. The invention is applicable to pressure, force, acceleration sensors and the like, designed to operate in harsh environment.
(FR) L'invention concerne les capteurs de grandeurs physiques tels que les capteurs de pression ou d'accélération, et plus précisément le montage de la partie active du capteur sur une embase (30) portant des broches de connexion (32). Selon l'invention, on prépare une partie active du capteur, composée par exemple de plaques de silicium micro-usinées (10, 12) portant des élements électroniques, des conducteurs électriques, et des plots de connexion (22). On prépare aussi une embase (30) pourvue de broches (32) et on relie électriquement les plots (22) aux extrémités de broche par deéléments conducteurs (fils 40). Puis on plonge la plaque et les extrémités de broche dans un bain électrolytique, de manière à effecteur un dépôt électrolytique de métal conducteur (42) sur les extrémités de broche, les plots, et les éléments conducteurs qui les relient; enfin on effectue une oxydation ou nitruration de ce métal pour constituer un révêtement isolant (44) sur les extrémités de broches de connexion, les plots, et les éléments conducteurs qui les relient. Application aux capteurs de pression, d'efforts, d'accélérations, etc., destinés à fonctionner en environnement sévère.
front page image
États désignés : JP, NO, US
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)